オイルレベルゲージでは、オイル量、汚れを一目で確認できます。またメンテナンスについては早めのオイル交換を実施いただくだけで十分。作業効率もUPします。 【特徴】 ○オイル加熱ヒーターには内熱式シースヒーターを採用し、省電力化を実現 ○ジェットの改良により、排気性能が大幅に向上 ○ポンプの立ち上げ時間を短縮 ○直接水冷式コールドキャップをバッフルに内蔵したことにより 　水冷式でもオイルバックを抑制することが可能となった 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

「ECO-22」は昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ)に簡単に取り付けられる省電力ユニットと断熱ジャケットです。ECO-22を用いることで、排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減が可能になります。 【性能】 油拡散ポンプ2本搭載装置（SGC-1300シリーズ）の場合、ECO-22を用いると、１本で1.7ｋＷ，2本で3.4kWhの電力量削減が可能となります。 同システムを年間300日稼動（24時間）使用した場合、24480ｋＷhの電力量が削減可能で、電気料金1kWh当り10円とした場合、24万4800円の電気料金の削減が可能となります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

広範囲で安定した放電を可能にし、光学フィルターのノンシフト膜から樹脂基板への密着性改善まで様々な用途でご使用いただけます。 放電性能においては独自のアプローチにより確実な着火と安定した放電が可能です。 【特徴】 ○ビーム電流 1500mA / ビーム電圧 1500V / 　イオン電流密度100μA/cm2以上の高出力イオンソース ○イオン電流密度分布±10％以下（1300、1550装置にて）の均一性をハイパワーで達成 →Sapio-1300 での測定結果。株式会社昭和真空指定条件に限る ○ニュートラライザーにオートマッチャーを採用し、 　確実な着火性能と安定化を図った ○新開発コレクター電極（特許出願中）の採用により、 　エミッション電流2500mAの大出力を可能にした →チャージアップによるパーティクル発生を予防する 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。