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株式会社コメット

住所茨城県つくば市東光台5丁目9番5号
電話029-869-8620
  • 公式サイト
最終更新日:2020/02/28
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1~8 件を表示 / 全 8 件

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コンビナトリアル成膜の受託

マテリアルズインフォマティクスのためのハイスループット薄膜の作製と評価

機能性材料など開発において“短期間で好適な組成を見出したい”や “組成変化による特性データを蓄積したい”等でお困りではありませんか。 当社では『コンビナトリアル成膜の受託』を行っています。 好適な組成探索をより早く、より正確に対応。 様々な材料について成膜経験があるエンジニアが、お客様のご要望に お応えします。まずはお問合せ下さい。 【特長】 ■コンビナトリアルライブラリ薄膜試料の作製 ■コンビナトリアル特性解析 ■コンビナトリアルマグネトロンスパッタ装置の販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 製造受託
  • 受託解析

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移動ロードロックシステム『CEX-2420』

スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備!各試料ホルダーへの試料の移載が可能

『CEX-2420』は、コンビナトリアル・スパッタ装置「CMS-6420」間、 あるいは、パスカル社製「PLD装置」間で、大気暴露なしに成膜試料を 超高真空下で移載搬送できる移動ロードロックシステムです。 L/L室と接続ポート部は、独立したターボ分子ポンプで排気され、 試料を常に超高真空下に持ちます。また、スパッタ装置用、PLD装置用の 2つの接続ポートを備え、各試料ホルダーへの試料の移載が可能。 無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の無通電可動ができます。 【特長】 ■大気暴露なしに成膜試料を超高真空下で移載搬送できる ■スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを備え、  各試料ホルダーへの試料の移載が可能 ■無停電電源でバックアップされ、30分以上の移動時の  無通電可動ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • スパッタリング装置

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コンビナトリアル特性解析

電気的特性評価をはじめ、光学特性評価、結晶性評価、組成評価を実施!

当社の『コンビナトリアル特性解析』では、ご要望により、組成変化に 従った種々の多点物理分析をいたします。 画像の例では、Si基板上のHfO2、Y2O3、Al2O3の正三角形の 3元コンビナトリアル組成傾斜試料にPt電極を形成してC-V、I-Vの 電気的特性を行い、高誘電率層の評価をしたものです。 上から、誘電率、フラットバンド電位、リーク電流の組成マッピングを 示しており、1試料中の246組成が同時評価できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【サービス内容】 ■C-V、I-V、半導体特性などなどの電気的特性評価(室温~400℃) ■透過率測定、分光エリプソメトリなどの光学特性評価 ■マイクロビームXRDを用いた結晶性評価 ■マイクロビームXRF、XPS、Auger分光などによる組成評価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他受託サービス
  • 解析サービス

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コンビナトリアル組成傾斜試料作成

2元および3元の組成傾斜膜が作成可能!様々な固体素子に用いられる機能性材料を成膜いたします

当社では、創業以来、大変ご好評をいただいているユニークなサービスとして、 コンビナトリアル技術を用いた薄膜試料を作成いたします。 任意組成の単一組成膜、2元および3元の組成傾斜膜が作成可能。 熱電材料・強誘電体・強磁性体・バッテリー電極・相変化メモリ材料・ 金属間化合物など、様々な固体素子に用いられる機能性材料を成膜いたします。 【特長】 ■経験豊かな技術スタッフが新機能性材料開発をお手伝い ■薄膜堆積法として、スパッタ法、  PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用いている ■任意組成の単一組成膜、2元および3元の組成傾斜膜が作成可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他受託サービス

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コンビナトリアル技術とは

ほぼ理想的な混合物が作成可能!直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応

コンビナトリアル技術では、1つの試料基板の上に、2元あるいは3元の 材料の組成を0%から100%まで変化させた薄膜を形成します。 移動マスクを用いて、くさび状の膜厚傾斜を持つ極薄層を交互に積み重ね、 ユニット層の厚みが0.2nm(2A)ですので、この値は原子間距離に等しく、 ほぼ理想的な混合物が作成可能。 2元あるいは3元の全ての組成が1つの試料に含まれていますので、1つの 組成傾斜試料を分析・解析することで、新機能を得るための組成最適化を 短時間で行うことができます。 【特長】 ■組成傾斜は移動マスクの機械的な動きによって形成 ■直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応 ■組成のみが試料内で変化しているので、試料の特性評価が安定で容易 ■ユニット層の厚みが0.2nmのため、ほぼ理想的な混合物が作成可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • スパッタリング装置

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コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-3200

単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの正三角形です

『CMS-3200』は、2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応する 3元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置です。 有効エリアは1辺25mmの正三角形。2インチウエハを標準基板とするため、 パターン描画・エッチングなどのライン後工程に投入でき、成膜のみならず 解析までをハイスループット化できます。 【特長】 ■2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応 ■有効成膜エリア:1辺25mmの正三角形 ■2インチ・マグネトロン・スパッタカソード3基搭載 ■RF・DC電源を各3組最大6基搭載可能 ■LabView によるレシピ編集と全自動コンビナトリアル成膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-6420

1辺25mmトライアングルの有効エリア!単一基板に数百条件分の組成分布を形成します

『CMS-6420』は、PLD法では実現しにくかった成膜面積の拡大を図るべく 開発された6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置です。 有効エリアは1辺25mmトライアングル。 4インチウエハを標準基板とするため、パターン描画・エッチングなどの ライン後工程に投入できることから、成膜のみならず解析までを ハイスループット化できます。 【特長】 ■プロセスラインに適合可能な4インチウエハ対応 ■有効エリア:1辺25mmトライアングル ■2元&3元コンビ成膜に対応 ■LabVIEWレシピ入力&自動成膜 ■最大6元構成(マトリクス用2インチカソード6基) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • スパッタリング装置

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新機能性材料 開発支援サービス

コンビナトリアル成膜技術を駆使して新機能性材料開発をお手伝いします

当社は、新機能性材料の発見・開発のお手伝いを知と手段の面から お手伝いいたします。 具体的には、コンビナトリアルのハイスループット技術を核として 材料探索のコンサルティングとファウンドリーサービスを行います。 また、材料の開発も受託いたします。 なお、ハイスループット合成装置や評価装置も販売するとともに 設備と材料ライブラリーの提供も行っておりますので ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【こんなご要望にお応え】 ■機能性材料など開発において  ・短期間で好適組成を見出したい  ・組成変化による特性データを蓄積したい  ・コンタミ等の懸念があるので自社装置での成膜はちょっと… ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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