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ITWジャパン株式会社

住所東京都江東区北砂1-4-4
電話03-5633-7100
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最終更新日:2025/02/26
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マスフローコントローラ/メータ マスフローコントローラ/メータ
圧力/真空製品 圧力/真空製品
気化器製品 気化器製品
面積式流量計(ロータメーター) 面積式流量計(ロータメーター)
超音波流量計 超音波流量計
サービス/サポート サービス/サポート
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【水処理向け】ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計

水処理プロセスにおける薬剤注入量を可視化し、高精度に管理。多様な液体・気体に対応。

水処理業界では、効率的な水質管理のために、薬剤の正確な注入が求められます。特に、注入量の過不足は、処理効果の低下やコスト増につながる可能性があります。当社のガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計は、液体・気体の流量を高精度に可視化し、薬剤注入の最適化と安定運用を実現します。 【活用シーン】 ・排水処理設備における凝集剤の定量注入 ・浄水場での塩素・消毒剤の流量管理 ・工業用水処理における各種薬液の供給制御 【導入の効果】 ・薬剤使用量の最適化によるランニングコスト削減 ・水質管理のばらつき低減・品質安定化 ・処理プロセスの再現性向上

  • 流量計

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【金属加工・熱処理向け】マスフローコントローラ/メータ GF40

サーマル式流量計測技術とエラストマシール構造を採用し、コストパフォーマンスと高精度制御を両立したマスフローコントローラ/メータ

金属加工や熱処理工程では、ガス流量の安定性と制御精度が製品品質を左右します。 サーマル式ならではの高い測定精度と再現性により、保護ガスや反応ガスの安定供給を実現。プロセス変動を抑え、均一な熱処理品質に貢献します。エラストマシール設計により、汎用的な産業用途に柔軟に対応し、メンテナンス性にも優れています。 真空炉・雰囲気炉での窒素やアルゴンなどの保護ガス制御、ろう付けや焼結工程、各種金属部品製造ラインにおいて、信頼性の高い流量管理をサポート。設備の安定稼働と歩留まり向上に貢献します。 確かな流量制御で、安定した熱処理品質へ。 GF40シリーズは、金属加工・熱処理分野における実用性と信頼性を兼ね備えたソリューションです。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能

  • 電気計器・電位計(メータ)

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エネルギー革新における精密制御の実現<アプリケーション事例紹介>

持続可能な未来を支える「ソリューション」

水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済  (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 流量計

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【化学プラント向け】ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計

化学プラントの反応制御に貢献する流量計測ソリューション

化学プラントの反応制御においては、プロセスの効率性と安全性を確保するために、流量の正確な測定と制御が不可欠です。反応物質の適切な供給量を維持し、不要な副反応や爆発のリスクを回避するためには、流量計の信頼性が重要となります。当社のガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計は、これらの課題に対応し、安定した流量計測を実現します。 【活用シーン】 ・化学反応プロセスの原料供給ライン ・触媒供給ライン ・反応生成物の排出ライン 【導入の効果】 ・反応プロセスの最適化による効率向上 ・製品品質の安定化 ・安全性の向上

  • 流量計

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エネルギー革新における精密制御の実現

持続可能な未来を支える「ソリューション」

水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 【アプリケーション事例ご紹介】 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • 安全コントローラ
  • 圧力制御
  • 流量計

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流量、圧力、蒸気および真空製品「総合カタログ」※流量計等を掲載!

コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ

当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー&プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス&ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス&サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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  • 圧力制御
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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』など2製品

1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介

『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能

  • 電気計器・電位計(メータ)

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薄膜技術の基礎知識『薄膜技術とは?』 ※資料進呈

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております

日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。 是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈! ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 流量制御

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流量・圧力計測機器と関連サービス

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。 現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や 特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。 【資料ラインアップ】 ■流量・圧力計測機器<バイオ医薬品・ライフサイエンス業界> ■面積式流量計<EPC向けフローソリューション> ■気体・液体用マスフローコントローラ<真空・圧力計測と制御> ※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。  お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • 圧力計
  • 流量計
  • コントローラ

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気体・液体用マスフローコントローラ<真空・圧力計測と制御>

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています!

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 流量制御

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ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計

様々な液体や気体に適している「ガラス管面積式流量計」などについてご紹介!

当社の『ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計』をご紹介します。 プラスチックには適さない高圧や高温の、液体や気体の流量を測定する場合、 当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計(ロータメーター)」を使用すれば、 より正確な流量を測定することが可能。より幅広い流量レンジができ、 様々な液体や気体に適しています。 「金属管面積式流量計」は、過酷な石油・ガスアプリケーションのために 設計された主要な機能を備えています。 【特長】 ■ガラス管面積式流量計 ・高い耐久性・エコノミー・操作性に優れた流量計測技術 ・より幅広い流量レンジが可能であり、様々な液体や気体に適している ■金属管面積式流量計 ・高圧・過酷な温度環境下での使用に耐える耐久性と精度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計

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面積式流量計<EPC向けフローソリューション>

80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります!

プロジェクトの設計、調達、建設(EPC)請負業者が高性能な流量計技術と 高度な技術的専門知識を必要とするとき、当社は的確なソリューションの ための信頼できるサプライヤーとなります。 製品は、原子力やバイオテクノロジーから電力や石油化学に至る アプリケーションの分野において採用されているため、80カ国以上において 70年以上にわたるグローバルな実績があります。 製品のパフォーマンスと価値がそれを証明しており、プロジェクトごとに、 EPCのパートナーに好適なサポートをさせていただいております。 【特長】 <MT3809 シリーズ 金属管面積式流量計> ■高いプロセス圧力にも対応した堅牢な設計 ■アラーム機能はSIL 2要件に適合 ■複数の耐腐食性接液材料とインジケータハウジングが利用可能 ■ASME B31.3規格に適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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サービス&サポート

信頼できる製品、専門性の高いサービス!機器を“新品同様の状態”に再生します!

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全ての修理には工場認定の新しい部品を使用 ■全ての修理サービスに対して保証期間がある ■機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行 ■グローバルなサービス拠点 ■デジタルプロトコルによるハードウェアのアップグレードが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 圧力計
  • 校正・修理

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流量・圧力計測機器<バイオ医薬品・ライフサイエンス業界>

歩留まりや工程管理を安定させるために、信頼性の高い、正確な機器を!

バイオ医薬品の製造は、世界でも要求の厳しい製造プロセスの一つです。 マスフローおよび圧力制御技術は、細胞培養の歩留まりの向上と バイオプロセスコストの抑制に役立ち、流量および圧力コントローラは、 信頼性、再現性、および長期安定性のためのグローバルスタンダードを確立。 また、マスフローコントローラ(MFC)は、バイオテクノロジーの研究 および生産の主要な要件を満たしています。 【特長】 ■高効率で長期間安定したプロセス制御 ■精度の高い測定データの確保 ■柔軟性と使いやすさ ■小流量から大流量への移行を速やかに、また効果的に行える ■稼動率に重点を置いたサービスおよびサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • 圧力計

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サーマルマスフローコントローラ/メータ[SLA5800シリーズ]

高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得

1台で最大14種の圧力・流量に対応。高再現性と精密制御を実現するSLA5800シリーズ サーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」は、カーボンニュートラル関連の研究開発をはじめとする多様な用途に対応し、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスにおいて、高精度な制御・測定を可能にします。 さらに、「SLA5850 マスフローコントローラ(ノーマルクローズバルブ)」は、高圧ガス保安協会(KHK)認証取得品であり、都道府県での完成検査は認定証の提出のみで対応可能です。これにより、導入時の手続きを大幅に簡略化し、スムーズな設備立ち上げを実現します。※フローメータ仕様での対応も可能です。 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済(対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ)※適用要件として、専用のエンクロージャーに格納のこと ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能

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  • 流量計
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【研究機関向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

ガスの精密制御で、研究開発を加速。KHK認証取得で手続きもスムーズ。

研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。 不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。 SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。 また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。 【活用シーン】 ・ガス分析 ・反応実験 ・材料合成 ・燃料電池の研究 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・研究効率の向上 ・高圧ガス関連の手続き簡素化

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【金属熱処理向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

高圧ガス保安協会(KHK)認証取得。熱処理工程のガス制御に。

金属熱処理業界では、製品品質を左右する熱処理工程において、ガスの流量を正確かつ安定的に制御することが不可欠です。特に、熱処理炉内の雰囲気ガスは、製品の硬度や強度に直接影響を及ぼすため、適切な流量管理が不良品の発生抑制につながります。 SLA5800シリーズは、熱処理工程で使用される多様なガスに対応し、雰囲気制御に求められる高い再現性と安定性を実現します。また、専用のBESTソフトウェアの機能により、スムーズな設備導入をサポートします。 また、エラストマーシール構造を採用することで、コストと耐久性のバランスに優れた設計を実現。長期運用における保守負荷の低減にも貢献し、熱処理設備の安定稼働を支えます。 【活用シーン】 ・熱処理炉へのガス供給 ・雰囲気ガスの流量制御 ・高精度な温度管理 【導入の効果】 ・熱処理工程の品質向上 ・不良品率の低減 ・高圧ガス関連の手続きの簡素化

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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会(KHK)の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。(フローメータでの対応も可能) 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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マスフローコントローラ/メータ SLAMfシリーズ※国内防爆認証

国内防爆認証(JPEx)を正式取得!厳しい環境にも対応する耐久性!優れた精度を実現する精密マスフローコントロール!

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆(MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X)を正式に取得したことで、Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。  【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。 

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オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます!

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御(プロセス)に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。

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マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました!

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント  ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『QuantimQMC』

第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに好適です

Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 【特長】 ■真の質量流量測定 ■正確な密度測定 ■I/Oオプションの追加: 0-10 Vdc, 0-20 mA, RS485 S-Protocol ■豊富なシール材質、証明書、認証のオプション ■アクセスの容易なサービスポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性:0.5%フルスケール/年以下 ■セトリングタイム:700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路:4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、  測定の再現性を向上 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI(圧力変動耐性)メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性:0.5%フルスケール/年以下 ■セトリングタイム:300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路:4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス・接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

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高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』

実証された長期安定性!高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、 柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。 さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。 当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、 この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に 使用します。 【特長】 ■高リークインテグリティ(10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下) ■幅広い流量レンジ(0.003~100 slpm) ■高清浄VAR 316Lステンレス製 ■粒子の発生を防ぐ ■ヘリウム漏れチェックポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持!信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います

『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答!幅広い種類の非腐食性ガスに適しています

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性 も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された 専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、 当製品は実流量を高速で追従させることができます。 【特長】 ■流量応答時間(セトリングタイム) 0.75秒以下 ■革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム ■通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ ■RS-232によるデジタル対応 ■オプションのローカルオペレーターインターフェース(LOI)で  セットアップと操作を合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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エラストマシールマスフローメータ『5700シリーズ』

ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定のご紹介です!

『5700シリーズ』は、パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズ を想定して作られたエラストマシールマスフローメータです。 タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号 を備え、コスト効率と安定性に優れています。 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで 経済的なマスフローメータが必要でしたら、当製品をお選びください。 【特長】 ■測定専用 ■幅広い流量 ■ステンレス製接ガス部材質 ■片面電源入力 ■0.5 V 出力信号 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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金属管面積式流量計『MT3809Gシリーズ』

各種気体、液体および蒸気への適用に好適!幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応したメータです

『MT3809Gシリーズ』は、ローカルオペレーターの操作用としてデジタル LCDディスプレイを備え、合計量表示やアラーム信号など価値の高い プロセス出力を表示する金属管面積式流量計です。 カバーを取り外さずにユーザー側でパラメータを変更可能。 危険区域でも変更を加えることができます。 また、電源が利用できない場合でも、アナログまたはデジタルインター フェースで制御システムと通信が可能です。 【特長】 ■幅広い流量レンジに対応 - 微小流量から大流量までをカバー ■定格温度 -198°C~420°C ■圧力定格:最大6,000 psi(標準製品)から最大20,000 psi(カスタムモデル)まで ■SIL2の要求に適合した大/小流量アラーム機能 ■過酷な危険場所でも使えるATEX IIC/Class 1 Div 1 に適合した  316 ステンレス製耐圧防爆ハウジング など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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ガラス管面積式流量計『Model GT1600』

ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計

『Model GT1600』は、安全なご使用のために選択した高品質な材料で できており、室内・屋外問わず使用可能なガラス管面積式流量計です。 目盛窓を360度回転可能で、好みの方向から視認できます。 また、GT1000xxシリーズ, GT1300シリーズ Full-View製品の置換えに対応しております。 【特長】 ■SUS316 ステンレス製フレーム ■透明ポリカーボネートカバー ■316/316L 二重認証ステンレス製継手 ■継手・接続方向は水平・垂直いずれも可能 ■簡単な内部メンテナンス など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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ガラス管面積式流量計『Sho-Rate シリーズ』

実証済みの小流量レートにおけるパフォーマンス。様々なニーズにマッチする汎用オプションをご用意!

『ショーレートモデル 1350G, 1355G』は、様々な種類の気体や液体用に適したガラス管面積流量計です。 基本構成は、316SS製エンドブロックやアダプタ、バルブと共にホウケイ酸ガラス製テーパ管が一つのアルミニウム製フレームに組み込まれてたものです。それに加えて様々なアプリケーションに対して適切な構成を提供するため、それ以外の材質やフローコントローラもオプションとして選択することができます。 【特長】 ■メータを取り外すことなくテーパ管の交換が可能 ■透明ポリカーボネートカバーは、読み取りを容易にする拡大レンズ形状 ■頑丈なフレーム構造 ■位置決めブロックにより、テーパ管取り付け時のセンタリングが容易 ■テーパ管とフロートの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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蒸気供給モジュール『VDM300』

超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現

蒸気供給モジュール(VDM:Vapor Delivery Module)は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI(グラフィックユーザーインターフェース)により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 【メリット】 ■実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用 ■さまざまな水供給圧にも対応 ■耐腐食処理を強化 ■クリーンな製造 ■アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース ■強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのための  ダイレクトインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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