【その他の特長】 ■電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、 　高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応 ■セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能) ■従来機種とリモ－トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保 ■RS232C(オプション/工場組込対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる ■10^-1Pa～10^-9Paの圧力範囲で動作、極高真空の作成に好適 ■運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利 ■二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっている 　(アルゴンで空気の約21％) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ) 　モジュールにより、10^-10Pa台を実現 ■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現 ■40％のサイズダウン(当社比) ■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能 ■イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用すると、 　大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的 ■小型軽量で取付場所を選ばない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■400L/s　コンビネーションポンプ ■800L/s　コンビネーションポンプ ■1600L/s　コンビネーションポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■ヒータを使用していないので、火花や放電、漏電などの心配はない ■マルチ運転ポンプへのアンバランスな熱負荷侵入に対する耐性を大幅 に向上 ■熱負荷に強い、より安定した運転が可能 ■12インチクライオポンプでもトリプル運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ(一部)】 ＜小型＞ ■P-085C ■P-086C ＜中型・大型＞ ■P-128C ■P-128CL ■P-160C ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■フォアライントラップ2F ■フォアライントラップS ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事業内容詳細】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空部品 ■保守サービス 　・装置、真空コンポーネント製品保守・改造 　・保守部品販売 　・部品洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。