キヤノンアネルバの製品・サービス一覧

『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への 対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に適しています。 【特長】 ■高性能 ■充実の機能 ■高互換性 ■通信対応 ■適合規格：CEマーキング、RoHS指令　適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長】 ■大排気速度 ■軽量でコンパクト ■安全設計 ■清浄な超高真空 ■液体窒素が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動特性と温度安定性 ■低振動 ■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続 ■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排気性能を長時間持続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力、冷却水量：15～70％低減可能］ ■再生・起動時間の短縮［従来に比べて半分以下(当社比)］ ■排気性能の向上［実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上(当社比)］ ■低振動［従来に比べて約1/10以下］ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。 【特長】 ■簡単に油上記の逆流を防止することができる ■ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、油分子を効率よく吸着 ■使用前にモレキュラーシーブをベーキングすることによって、 　簡単にモレキュラーシーブの吸着能力を再生可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの 一員として、グローバルなグループネットワークの強みを最大限に活かした 事業展開を目指しております。 【事業内容】 ■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。