【ラインアップ】 ■951-7148 ■951-7150 ■951-7152 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■951-7120 ■951-7145 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

【ラインアップ】 ■V-025RV-CN ■V-025RV-MN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■V-040LV ■V-065LV ■V-100LV ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】 ■使用真空領域：大気圧～10^-8Pa程度 ■調節可能最少リーク量：6.7×10^-9Pa・m3/sec以下 ■バルブ全閉時リーク量：6.7×10^-11Pa・m3/sec以下 ■許容加熱温度：450℃(開閉いずれも可) ■ガスケットの寿命 　・約300回シール(室温使用時) 　・約30回シール(ベーキングを伴う場合)(ガスケット交換可能) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】 ■使用真空領域：大気圧～10^-7Pa程度 ■バルブ全閉時リーク量：6.7×10^-11Pa・m3/sec以下 ■オリフィス径：φ8.5mm ■許容加熱温度 　・バルブ開時150℃ 　・バルブ閉時125℃ ■接続フランジ：φ70ICF、NW25フランジ ■質量：0.5kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】 ■使用圧力領域：大気圧～10^-2Pa程度 ■リーク量：＜5×10^-7Pa・m3/sec ■コンダクタンス：420L/min(20℃空気に対する分子流領域での値) ■メンテナンスタイム：30,000サイクルまたは1年 ■接続フランジ：NW25フランジ ■使用流体：大気またはガス(腐食性ガスを除く) ■使用環境：周囲温度10℃～40℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事業内容詳細】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空部品 ■保守サービス 　・装置、真空コンポーネント製品保守・改造 　・保守部品販売 　・部品洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。