キヤノンアネルバの製品・サービス一覧

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ■省スペース・低消費電力 ■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた 　コンビネーションゲージ ■超高真空から大気圧 ■高精度、低真空領域において優れた再現性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 　・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減 ■優れた大気圧検出を実現 （当社比） 　・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な コールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）です。 高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。 優れた測定安定性で、未放電による測定停止、 圧力表示値のフラツキを低減します。 【特長】 ■高真空下での良好な起動性 ■未放電・放電遅れを解消 ■容易なメンテナンスでメンテナンスは部品交換のみ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■取付方向の制約がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、 自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2Paから大気圧 ■低・中真空領域の測定に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■優れたゼロ点安定性 ■温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現 ■優れた対振動ノイズ性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■耐熱温度80℃/250℃のケーブルもご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。 【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを2点標準装備 ■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。 【特長】 ■ゲージ自動認識 ■大型デジタルLCD表示 ■RS232Cインターフェース標準装備 ■優れた操作性 ■見やすい3タイプ表示 ・デジタル表示、トレンドグラフ（最長18H）、アナログメータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。 【特長】 ■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定 ■熱源（フィラメント）を持たない ■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない ■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g ■環境に配慮した少ない消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト ・消費電力0.5W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、 高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。 再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。 各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、 様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■5×10^-2Paから大気圧 ■様々な産業で使用可能 ■粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御などの用途がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34ICF、φ70ICF ■MG-2F ■MG-2WF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの 一員として、グローバルなグループネットワークの強みを最大限に活かした 事業展開を目指しております。 【事業内容】 ■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。