【仕様（抜粋）】 ■測定質量範囲：m/z 1～80 ■動作圧力：2.0Pa 以下 ■最小検知濃度：5ppm（H2 を除く）H2：100ppm ■SEM感度：7.5 × 10^-5 A/Pa 以上 ■ファラディ感度 ：7.5 × 10^-9 A/Pa 以上 ■接続フランジ：φ 70ICF ■質量：分析管1.1kg　コントローラー2.2kg ■通信規格：RS-232C または RS-485 ■制御ソフトウェア：QUADVISION3 Win7、8.1、10 対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■標準モデル ・M-070QA-TDF ・M-101QA-TDF ■高感度モデル ・M-101QA-TDM ・M-201QA-TDM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■高速型 ・M-401QA-MGSY ・M-401QA-MUSY ■高感度型 ・M-401QA-MGHY ・M-401QA-MUHY ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■M-101GA-DF ■M-101GA-DM ■M-201GA-DM ■M-401GA-DM ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■M-070GA-CRFY ■M-101GA-CRFY ■M-101GA-CRMY ■M-201GA-CRMY ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【事業内容詳細】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空部品 ■保守サービス 　・装置、真空コンポーネント製品保守・改造 　・保守部品販売 　・部品洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

質量分析計メーカーとしてのノウハウを元に多種多様な分析システムの対応が可能です。 ● ガスの流れを止めず、成分の時間変化を把握 ● 圧力・温度を下げずに、そのまま分析が可能 ● 圧力変動が多い環境でも安定した分析を実現　 ● 反応性のあるサンプルガスへの対応　 ● サンプルからの発生ガスを見える化　 ● 微量な封入ガスも精度良く分析可能