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サンユー電子株式会社

設立1976年5月
資本金1000万
従業員数24名
住所東京都新宿区百人町1-22-6
電話03-3363-3551
  • 特設サイト
  • 公式サイト
最終更新日:2024/02/07
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電子顕微鏡試料作製用装置 電子顕微鏡試料作製用装置
その他真空応用機器 その他真空応用機器
EB(電子ビーム)描画機器 EB(電子ビーム)描画機器
電子顕微鏡試料作製用装置

電子顕微鏡試料作製用装置

■電子顕微鏡試料作製用装置 シンプル操作の低価格イオンミリング装置や軽量コンパクトな電子顕微鏡用コータなどの装置です。

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適!シリーズ最小のコンパクトコーターです。

「SC-701MkII」は、シリーズ最小のコンパクトコーターです。 デバイスの電極膜付けにも使用可能で、シンプル&イージーオペレーションです。 イオンダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載。 試料ブロックを用いて簡単にT-S間距離を変更できます。 SEM用試料の前処理用として最適です。 【特長】 ○シリーズ最小のコンパクトコーター ○低価格/小型軽量タイプ ○熱ダメージ防止用間欠コート機能付 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適! 試料作製の煩わしさを解消します。

「SC-701AT」は、全自動コーターです。 排気操作完全自動式で、膜厚制御連動式です。 走査電子顕微鏡用試料作製に最適で、デバイスの電極膜付けにも使用できます。 【特長】 ○電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製 ○プリセット方式により、膜厚のコントロール(簡易型)が可能 ○前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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プログラマグルスパッタコーター SC-701HMCII

Ni/Cr/Wなどに対応! ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。 フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができます。自動シャッター機構を標準装備しています。 【特長】 ■フルオート/マニュアルの2通りの操作 ■高精度を誇る制御系 ■シャッター標準装置 →設定プログラムと連動して自動でオープン/クローズがおこなえる ■リアルタイムモニタリング ■デスクトップサイズのコンパクトなボディ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO

シンプルを追求したコーター ボタン1つで簡単に操作できます

QUICK MINI COATER SC-701Mk II ECOは、軽量コンパクトでSEM試料用前処理に特化したコーターです。 【特長】 〇ボタン1つのスーパーイージーオぺレーション 〇マグネトロンカソード採用によりイオンダメージを軽減 〇スモール、コンパクト&ライトウェイト

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カーボンコーター SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に! EPMA・分析SEMの前処理用として最適

QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。 個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。 【特長】 〇フラッシュ式蒸着法を採用 → 個人差のないカーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる排気(低真空)のため、試料表面へのカーボン粒子の回り込みに優れる 〇オプションのマグネトロンスパッタユニット(SC-MC)を取り付けることにより、金属のスパッタコーターとして使用することができます。

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多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター!

「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。 DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。 各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。 【特徴】 ○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保 ○スモール、コンパクト&ハイスペック ○手動式シャッター標準装備 ○専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます ○タングステンコートが可能なため、高分解能SEM用試料作製にも利用可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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8インチスパッタコーター SC-708シリーズ

大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4~8インチまでの各モデルを用意しております。

QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。 【特徴】 〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。 〇コーティングモード/エッチングモード搭載 〇スパッタ薄膜作製はもちろん、マイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応

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全自動イオンコーター SC-701AT

SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター

QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。 【特徴】 ○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。 ○コーティング/エッチングモード搭載 〇デバイスの電極膜付けにも使用可能

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マグネトロンスパッタコーター SC-701MC

イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター 【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます

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多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター!

QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。 ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。 【特徴】 〇プログラマブルスパッタコーター 〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作 〇シャッター標準装備

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手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター

45年以上のロングセラーモデル 手軽に電極膜作製ができるデスクトップタイプ コンパクトDCスパッタ

45年以上に渡るロングセラーモデル 小さなボディながらも、電極用薄膜作製から電子顕微鏡(SEM)用試料作製まで対応。 オフィスのデスクに置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!! 【特徴】 〇スモール&コンパクト 〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式 ⇒ サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。 〇間欠スパッタ機能を標準搭載 〇多彩なオプションをご用意:シャッター付前面ドア/アルミ製前面ドア/ピラニー真空計取付ポート付前面ドア etc.

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