【仕様】 ○ターゲットサイズ：49ｍｍ dia.／ Au×1 ○試料台サイズ：50ｍｍ dia.（T-S間調節範囲 - 20、30、40ｍｍ） ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○高圧電源：1.2kV／0～9.9mA ○到達圧力：5Pa ○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製） ○タイマー：0～15min（最長30min） ○ガス導入機構：ニードルバルブ　導入口径外径φ6mm　ワンタッチ継手 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　7A ○寸法・重量 →本体：160(W)×326(D)×286(H)mm、10kg →RP：295.5(W)×156(D)×199.5(H)mm、9kg ○オプションターゲット：Ag、Pt、Pd、Au-Pd、Pt-Pd ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ ○試料台サイズ：φ70ｍｍ（高さ調節範囲 - 15／20／60ｍｍ） ○排気操作：全自動 ○スパッタ方式：DCスパッタ／平行平板型 ○膜厚設定方式：オートプリセット方式（デジタル表示膜厚モニター付） ○高圧電源：1kV／0～20mA ○到達圧力：10Pa ○チャンバーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　10A ○寸法・重量 →本体：225(W)×420(D)×320(H)mm、15kg →RP：300(W)×160(D)×200(H)mm、9kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ ○試料台サイズ：φ70ｍｍ ○排気操作：自動 ○スパッタ方式：DCスパッタ　マグネトロン型 ○スパッタリング電流／電圧：0～50ｍA／0～3ｋV（システム制御） ○チャンバーサイズ：160（φ）×160（D）ｍｍ（SUS製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ（システム制御） ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　100l/min（自動リーク付） ○装置電源：単相 AC100V　50/60Hz 10A ○寸法・重量 ・本体:360（W）/422（D）/265（H）mm、20kg ・RP:460.5（W)/173.5（D）/264（H）mm、22.4kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd ○試料サイズ：φ50ｍｍ(Max) ○排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min ○スパッタ方式：DCマグネトロン／平行平板型 ○寸法(W/D/H)：160/255/286mm

【仕様】 ○カーボンホルダー：カートリッジ型 ○電極：1組 ○コーティング回数：1回 ～ 19 回 (任意設定) 〇排気操作：手動式 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ 100L/min (自動リーク付) ○寸法(W/D/H)：360/400/265mm

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max) ○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al ○試料サイズ：φ50mm(Max) ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min（自動リーク付） ○寸法(W/D/H):200/450/290mm

【仕様】 ○適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd 〇スパッタ方式：DC/平行平板型 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　100L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H)：282/450/440mm

【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：自動 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H)：225/420/320

【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：自動 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：225/420/320mm

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc. 〇試料サイズ：φ70mm(Max) 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　100L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：360/422/265mm

【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DC/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：160/326/286mm