【仕様】 ○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：Φ6mmワンタッチ継手（シンフレックスチューブ用） ○ターゲットサイズ：Φ49mm、t0.5mm（最大） ○ターゲット装着数：3種類 ○適用可能ターゲット →Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe ○試料サイズ：最大Φ50mm ○試料選択：ステージ回転式 ○ターゲット／試料間(TS)距離：20mm、30mm、40mm ○ターゲット選択：シャッター方式 ○給電方式：単独給電切替式（電源パネル操作） ○排気系：ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min ○到達真空度：1×10⁻³Pa以下 ○真空度測定：コンビネーション型真空計（電離真空計+ピラニー真空計） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【基本仕様（抜粋）】 ○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（シンフレックスチューブ用） ○ターゲットサイズ：φ49mm、t0.5mm（最大） ○ターゲット装着数：3種類 ○適用可能ターゲット →Au、Pt、Au-Pd、Pt-Pd、Ag、Pd、W、Ni、Mo、Cr、Ti、Al、Cu、Fe ○試料サイズ：最大φ50mm ○試料選択：ステージ回転式 ○ターゲット／試料間(TS)距離：20mm、30mm、40mm ○ターゲット選択：シャッター方式 ○給電方式：単独給電切替式（電源パネル操作） ○排気系：ターボ分子ポンプ(TMP) 67L/s(N2)、油回転ポンプ(RP) 20L/min ○到達真空度：1×10⁻³Pa以下 ○真空度測定：コンビネーション型真空計（電離真空計+ピラニー真空計） ●詳しくはお問い合わせください。

☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜生成に対応した小型RFスパッタ装置☆ お薦めPOINT　＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも対応　＝　薄膜の積層を実現 4．多彩なオプションをご用意 　　基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc.

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm／t0.5mm(Max) ○適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al ○試料サイズ：φ50mm(Max) ○排気操作：手動式 ○スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min（自動リーク付） ○寸法(W/D/H):200/450/290mm

【仕様】 ○適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd 〇スパッタ方式：DC/平行平板型 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　100L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H)：282/450/440mm

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc. 〇試料サイズ：φ70mm(Max) 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　100L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：360/422/265mm

【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DC/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：160/326/286mm

【仕様】 ○カーボンホルダー：カートリッジ型 ○電極：1組 ○コーティング回数：1回 ～ 19 回 (任意設定) 〇排気操作：手動式 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ 100L/min (自動リーク付) ○寸法(W/D/H)：360/400/265mm

〇仕様詳細については、お問い合わせください。

【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：自動 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H)：225/420/320

【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：自動 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：225/420/320mm

【仕様】 [排気装置：SVC-700TMSG] ○排気操作：全自動 ○到達圧力：2×10⁻⁴Pa以下 ○蒸着用電極：2組 ○ガラスベルジャー：内径φ160mm×215mmH ○寸法(W/D/H)：340/460/544mm [蒸着電源：SVC-7PS80] ○ヒーター電源：12V 45A/7V 80A ○寸法(W/D/H)：340/410/205.5mm

【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49ｍｍ 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd ○試料サイズ：φ50ｍｍ(Max) ○排気操作：手動式 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L/min ○スパッタ方式：DCマグネトロン／平行平板型 ○寸法(W/D/H)：160/255/286mm