【特徴】 ・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬送が可能 ・搬送室において、基板ホルダー真空封止機構搭載 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元） ・有機材料が8種類、同部屋にて仕込み可能 ・有機蒸着室が2部屋装備の為、有機蒸着源が16元設置可能 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。 ・グローブボックスと接続可能である。 ・前処理室にてプラズマ基板洗浄が可能。 ・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。 ・PLC制御にて自動搬送・自動排気・自動蒸着が可能。

【特徴】 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。 ・グローブボックスと接続可能。 ・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。 ・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。

【特徴】 ・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。 ・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。 ・グローブボックスと接続可能である。 ・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。 ・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準5枚ストック可能。 ・前処理用に基板加熱室を装備。

【サービス内容】 ○リークテスト ○表面処理 ○洗浄 ○組立 ○真空立ち上げ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。