☆掲載内容☆ ■PVD装置コンポーネントガイド ■チャンバータイプ別仕様 ■蒸着構成／各蒸着源仕様 ■機能構成　マニピュレーター ■機能構成　シャッター/その他 ■機能構成　ロードロックチャンバー ■計測・分析構成　真空計・水晶振動子 ■計測・分析構成　フラックスモニター・RHEED ■電源・制御構成　架台・ラック ■電源・制御構成　制御コントローラ ■その他・付属構成 ■排気構成　ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ ■特注品【ORDER MADE】 ■インターネットサービスのご案内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

◆◇◆掲載内容◆◇◆ ◆製品案内　真空部品 ・ICF規格品 ・ISO（KF・LF）規格品（NW） ・JIS規格品 ・チューブ継手付ブラシ ・ガス導入バルブ付フランジ ・ガスライン用フレキシブルチューブ ・電流導入端子シリーズ ・低温高圧セル ・アクセサリー ◆製品案内　導入機 ・直線導入機（Z軸） ・上下機構（Z軸） ・中空直線導入機（Z軸） ・中空回転導入機（φ軸） ・多軸複合導入機 ・トランスファーロッド（Z-φ軸） ・Xステージ ・X/Yステージ（X/Y軸）　など ◆製品案内　チャンバー ◆技術資料　など ◆ダウンロードボタンより掲載内容一覧(サンプル)をご覧頂けます。　 ◆カタログご希望の方は、資料請求よりお問い合わせ下さい。（無料にて配達致します。）

溶接ベローズ、成形ベローズをお客様のご希望の仕様で製作しております。 また、規格品も各種フランジ形式、ベローズ長さにあわせ豊富に取り揃えております。

【仕様】 ■取り付けフランジ：ICF-70 ■先端長（フランジ-入射口）：100mm ■ビーム入射口径×深さ：φ20×40 ■ユニット外径：φ34 ■ビームストッパー材質：無酸素銅 ■引出部コネクタ：BNC-R ■許容ベーキング温度：≦200℃ ■納期：御下命後1.5ヶ月 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【掲載製品】 ■真空部品 　◎ICF規格品　　　　　　　　　◎ISO（KF・LF）規格品（NW） 　◎JIS規格品　　　　　　　　　◎チューブ継手付フランジ 　◎ガス導入バルブ付きフランジ ◎ガスライン用フレキシブルチューブ 　◎電流導入端子シリーズ　　　 ◎低温高圧セル 　◎アクセサリー ■導入機 　◎直線導入機（Z軸）　　　　　◎上下機構（Z軸） 　◎中空直線導入機（Z軸）　　　◎回転導入機（φ軸） 　◎中空回転導入機（φ軸）　　 ◎トランスファーロッド（Z-φ軸） 　◎Xステージ　　　　　　　　　◎X/Yステージ（X-Y軸） 　◎セミ・マニピュレーター　　 ◎チルト機構（ω軸） 　◎蒸着セル　　　　　　　　　 ◎シャッター機構 　◎エントリーハッチ　　　　　 ◎ベロージョイント 　◎オプション ■装置 　◎チャンバー　　　　　　　　 ◎その他ユニット　など ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

【ラインアップ】 ■ICF規格品 ■JISチューブ ■チューブ継手付フランジ ■ガス導入バルブ付きフランジ ■ガスライン用フレキシブルチューブ ■電流導入端子シリーズ ■低温高圧セル　　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【目次】 ○真空下の物理的な現象と利用例 ○気体の性質 ○真空の領域区分と分子密度 ○真空排気の現実 ○真空排気を邪魔する５つのガス源 ○具体的な真空材料 ○使用して後悔する材料 ○真鍮 (黄銅)の怖ろしさ ○ベーキングとプリベーキングの必要性 ○各種真空ポンプの原理と特徴 ○汚染された超高真空容器内の残留ガススペクトル ○各種真空計の概要 ○ガスケットの材料 ○真空装置に使われるエラストマーの性質 ○各圧力領域で到達圧力を制限する因子 ○主な汚染物質・汚染源 ○手垢（皮脂）で汚染された真空部品からのガス放出 ○排気系の運転開始法 ○独立した粗引き系を持つTMP排気システム ○大気開放時、パージガス中の水分量を管理 ○洗浄と表面処理の組み合わせ ○残留ガス分析 ○不純物フリー低真空装置への高速排気と省エネ ○排気時間の短縮と省エネ効果 ○まとめ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○取付フランジ　ICF-152 ○ターゲットサイズ　1.5inch（円形） ○ターゲット固定　リテイナー式 ○マグネット材質　SmCo ○ベーキング温度　300℃ ○DC電源（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【サービス内容】 ○リークテスト ○表面処理 ○洗浄 ○組立 ○真空立ち上げ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【ラインナップ】 ○チタン ○タングステン ○無酸素銅 ○りん青銅 ○アルミナ ○シェイバルMソフト ○グラファイト ○炭化珪素(SiC) ○PEEK(ポリエーテルエーテルケトン) ○石英ガラス ○テフロン(ポリテトラフルオロエチレン：PTFE) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○取付フランジ　ICF-152 ○ターゲットサイズ　1.5inch（円形） ○ターゲット固定　リテイナー式 ○マグネット材質　SmCo ○ベーキング温度　300℃ ○DC電源（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 ○取付フランジ　ICF-152 ○ターゲットサイズ　1.5inch（円形） ○ターゲット固定　リテイナー式 ○マグネット材質　SmCo ○ベーキング温度　300℃ ○RF電源（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。