本製品は、ルツボサイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質は、シェイパル・アルミナ・石英ガラス・グラファイトなど、多種揃えております。

●応用材料 ・Si (Silicon) ・As (Arsenic) ・Ga (Gallium) ・Al (Aluminum) ・In (Indium) ・P (Phosphorus) etc ※御客様の仕様に合わせて任意のストローク、形状等承ります。 こちらへお問合せください。

当社の「導入機シリーズ」は、完成度と自由度の高い標準規格品を多数取り揃えており、 組み合わせにより研究開発者の多様なニーズにお応えすることができます。 全ての製品はアウトガス低減対策を施しており、実験環境を妨げることなく高精度・高再現性を実現します。 また、要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構をご用意いたします。 【主な用途】 ◎試料搬送・受け渡し ◎試料加熱・冷却 ◎薄膜作製 ◎試料解析・分析　など ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【仕様】 ■導入径：φ36 ■導入フランジサイズ：最小 ICF070 ■真空内長さ：60ｍｍ～(選択可) ■導入向き：上向き～水平(任意) ■蒸着向き：0°～90° ■るつぼ材質：アルミナ ■るつぼ容量：0.3cc ■フィラメント材質：タンタル ■熱電対：K型 ■推奨使用温度：～350℃(熱電対周辺) ■温度安定性：±2.5℃ ■消費電力：2.6Ａ/7.5Ｗ(350℃:るつぼ温度) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■導入径：φ37 ■導入フランジサイズ：最小:ICF070 ■真空内長さ：150ｍｍ～(選択可) ■導入向き：上向き～水平(任意) ■蒸着向き：0°～90° ■ボート材質：Ta・Mo・W ■ボート容量：0.5cc ■最大ボート温度：Ta(Max1400℃)・Mo(Max1200℃) ■蒸着材料：LiF・MoO₃・In ■消費電力：60Ａ/600Ｗ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【サービス内容】 ○リークテスト ○表面処理 ○洗浄 ○組立 ○真空立ち上げ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。