【仕様】 ■Z軸移動量：222±25ｍｍ ■位置決め精度：0.1ｍｍ ■許容リーク量：1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/sec ■許容加熱温度 ≦200℃ ■接続フランジ 上部：ICF152-FT ■接続フランジ 下部：ICF152-FH ■有効内径：φ108ｍｍ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

特徴 本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。 オプションであるサンプル加熱/冷却機構または、モーター駆動機構などを組み合わせることにより、研究開発目的に適した試料等の処理や移動・操作を御提案いたします。

●エントリー・ハッチ ・ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。 ・ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。 ・ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。 ・覗窓付きとブランク型の2種類を御用意いたしました。 ●ロードロックハッチ ロードロック室の資料交換用の扉。ICF、JISフランジに対応した各サイズのロードロックハッチをご用意しております。窓ガラスの材質も各種取り扱っております。

ベローズ式のXY移動機構と角度調整が可能なXYチルト機構。マイクロメーターによる正確な微調整が可能です。

【仕様】 ■導入径：φ32以上 ■導入フランジサイズ：ICF70FH ■取り付け角度：右下45度 ■サンプルホルダ加熱温度：MAX450℃ ■駆動機構ストローク：100mm ■加熱フィラメント材質：Ta ■熱電対：K-type ■ベーキング温度：≦200℃ ■温度表示機：オプション ■加熱用電源：オプション ■納期：1.5ヶ月 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■KSV-70AC：ICF-70用シャッター機構 ■KSV-114AC：CF-114用シャッター機構 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社の「導入機シリーズ」は、完成度と自由度の高い標準規格品を多数取り揃えており、 組み合わせにより研究開発者の多様なニーズにお応えすることができます。 全ての製品はアウトガス低減対策を施しており、実験環境を妨げることなく高精度・高再現性を実現します。 また、要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構をご用意いたします。 【主な用途】 ◎試料搬送・受け渡し ◎試料加熱・冷却 ◎薄膜作製 ◎試料解析・分析　など ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【仕様】 ■X軸移動量：±12.5mm ■Y軸移動量：±12.5mm ■X軸位置決め精度：2µm ■Y軸位置決め精度：2µm ■許容リーク量：1.3×10^-10Pa・m³/sec ■許容加熱温度：≦200℃ ■接続フランジ 上部：ICF152-FT ■接続フランジ 下部：ICF152-FH ■有効内径：Φ100mm ■面間距離：215mm（変更可能） ■納期：2ヶ月 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ○ガス導入・排出口　3/8inch Swagelok ○排気ポート　3/8inch Swagelok ○ベーキング温度　150℃ ○温調器入力　100V(50/60Hz) ○N2ガス中水分量実績値　0.065vol. ppm ○露点計（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【サービス内容】 ○リークテスト ○表面処理 ○洗浄 ○組立 ○真空立ち上げ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能 ○コントロールBOX(標準付属)より、 　BNCコネクタを介しリモート制御にてシャッター開閉可能 ○シャッターストロークは、0～20mm(標準仕様) ○取付けフランジサイズ、シャッター板形状は、任意に設計変更可能 ○200℃までのベーキングが可能 ○超高真空対応可能な構成 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

＜KTX-500＞ ストローク：500mm、重量：5.5kg ＜KTX-750＞ ストローク：750mm、重量：6.0kg ＜KTX-1000＞ ストローク：1000mm、重量：6.5kg ＜セミオーダー＞ ロッド先端加工、ストローク長変更、表面処理、ベーキング処理 ＜オプション＞ モーター駆動ユニット、回転止めユニット、プロテクター、延長ハンドル

＜KTL-500＞ ストローク：500mm、重量：2.9kg ＜KTL-750＞ ストローク：750mm、重量：3.4kg ＜KTL-1000＞ ストローク：1000mm、重量：3.9kg ＜セミオーダー＞ ロッド先端加工、ストローク長変更、表面処理、ベーキング処理 ＜オプション＞ モーター駆動ユニット、回転止めユニット、プロテクター、延長ハンドル

【仕様(抜粋)】 ＜KSM-152-50Z＞ ■移動距離 ・Z軸：0～50mm ・X軸：±12.5mm ・Y軸：±12.5mm ＜共通仕様＞ ■許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度：≦200℃ ■移動精度 ・XY軸：0.01mm以下 ・Z軸：0.05mm以下 ■位置決め目盛 ・Scale XY軸：0.001mm以下 ・Z軸：0.05mm以下 ■上部接続フランジ：ICF-70FT ■下部接続フランジ：ICF-152FH ■導入用ポート：ICF34（6ヶ所） ■真空シール稼働部：溶接ベローズSUS-316 ■重量：9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

＜KTS-100＞ ストローク：100mm、重量：0.9kg ＜KTS-200＞ ストローク：200mm、重量：1.0kg ＜KTS-300＞ ストローク：300mm、重量：1.1kg ＜セミオーダー＞ ロッド先端加工、ストローク長変更、表面処理、ベーキング処理 ＜オプション＞ モーター駆動ユニット、回転止めユニット、プロテクター、延長ハンドル

【仕様(抜粋)】 ＜KSM-70-50Z＞ ■移動距離 ・Z軸：0～50mm ・X軸：±6.0mm ・Y軸：±6.0mm ＜共通仕様＞ ■許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度：≦200℃ ■移動精度 ・XY軸：0.01mm以下 ・Z軸：0.05mm以下 ■位置決め目盛 ・XY軸：0.001mm以下 ・Z軸：0.05mm以下 ■上部接続フランジ：ICF-34FT ■下部接続フランジ：ICF-70FH ■真空シール稼働部：溶接ベローズSUS-316 ■重量：9.0kg(50Z) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】 ＜KSM-114-50Z＞ ■移動距離 ・Z軸：0～50mm ・X軸：±12.5mm ・Y軸：±12.5mm ＜KSM-114-150Z＞ ■移動距離 ・Z軸：0～150mm ・X軸：±12.5mm ・Y軸：±12.5mm ＜共通仕様＞ ■許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度：≦200℃ ■移動精度：XY軸　0.01mm以下 ■位置決め目盛：XY軸　0.001mm以下 ■上部接続フランジ：ICF-70FT ■下部接続フランジ：ICF-114FH ■真空シール稼働部：溶接ベローズSUS-316 ■重量：9.0kg(50Z)、9.0kg(150Z) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【ラインアップ】 ■KTL-EH ■KTX-EH ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■KTS-RS ■KTM-RS ■KTL-RS ■KTX-RS ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【共通仕様】 ■駆動方式/Driving Method：マグネット方式/Magnetic Coupling ■許容リーク量/Leak Rate：≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度/Bake out Temperature：≦200℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

＜KTM-200＞ ストローク：200mm、重量：1.3kg ＜KTM-300＞ ストローク：300mm、重量：1.4kg ＜セミオーダー＞ ロッド先端加工、ストローク長変更、表面処理、ベーキング処理 ＜オプション＞ モーター駆動ユニット、回転止めユニット、プロテクター、延長ハンドル

【ラインアップ】 ■KSV-70 ■KSV-114 ■KSV-152 ■KSV-203 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■ミニ上下機構（Z軸）KMUD-34(50Z) ■ミニ上下機構（Z軸）KMUD-34(100Z) ■上下機構（Z軸）KUD-70(50Z) ■上下機構（Z軸）KUD-70(100Z) ■上下機構（Z軸）KUD-70(150Z) ■上下機構（Z軸）KUD-114(50Z) ■上下機構（Z軸）KUD-114(100Z) ■上下機構（Z軸）KUD-114(150Z) ■上下機構（Z軸）KUD-152(50Z) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■独自の設計により、シール方法を改良し縦置きでも横置きでも取り付け可能な構造 ■薄さにもこだわり、内部の表面積を極力減らしている ■許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec（ダブルOリング差動排気時） ■真空シール稼動部：ダブルOリング差動排気型 ■許容加熱温度：≦120℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■KTL-PT ■KTX-PT ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。