【仕様】 〇サイズ 　・W598×D548×H1224（mm） ○重量　150Kg ○吐出流量、圧力 　・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧：0.4～0.7MPa ○純水仕様圧力：0.3～0.4MPa ○アラーム機能 　供給水圧低下 　インバータ出力異常

【仕様】 〇サイズ ・W470×D800×H370 （mm） 〇重量 ・110Kg ○吐出圧力／流量 ・No.1 4MPa／12LPM ・No.2 2MPa／3LPM 吐出圧調整　出荷時固定

【仕様】 〇サイズ 　・W194×H190×D490 ○吐出圧力 　・KPW20 : 0.98~9.8MPa 　・KPW30 : 1.47~14.7MPa 　・KPW37.5 : 1.76~17.6MPa ○吐出流量 　・KPW20 : 1.13L 　・KPW30 : 0.71L 　・KPW37.5 : 0.58L ○駆動エア圧：0.05~0.5MPa ○エア消費量：約70L (ポンプストローク数 60SPM時) ○接液シール 　・純水・IPA ：FKM 　・NMP： カルレッツ