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株式会社テクノメイト

住所東京都八王子市左入町959-2
電話042-659-3915
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  • 公式サイト
最終更新日:2025/01/06
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PFAヒーター

ヒーター部がPFA被覆されている為耐薬品性を示すPFAヒーター

ヒーター部はPFA被覆されている為優れた耐薬品性を示します。液中から直に加熱できる為電熱効率が高いです。フランジ型、ネジ込み型のラインナップがあり、加熱槽内部の液を抜かずにヒーターを交換できます。 【特徴】 ○ヒーター部はPFA被覆されている為優れた耐薬品性を示します。 ○液中から直に加熱できる為伝熱効率が高いです。 ○装置側の仕様に合わせてフランジ型とネジ込み型が選択できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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CMPスラリー供給装置 P108

本装置はCMP装置に連続してスラリー液を供給するためのもので、2種2系統を供給する機能を有する。

本装置はスラリー原液を希釈し研磨装置にスラリーを供給し、送液温度とpH値を制御(オプション機能)するとともに、スラリー液を連続的に供給するための調合タンクと供給タンクを内蔵しています。 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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超純水加熱装置

加温する液体成分に影響を及ぼさない製品となっています。

本装置は、シリコンウェハー,液晶ガラス基板,ハードディスク基板、及び各種部品等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより加温する装置です。 【特徴】 ○純水加熱容器は石英ガラスを使用 ○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用 ○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用 ○加熱効率が96%以上 ○PID制御による±1℃の安定した温度制御 ○起動から使用温度まで120秒以内の昇温 ○幅広い使用流量・温度に対応 ○流量変化に対応した温度調整が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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