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『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コンパクト設計で組込に好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■電気を使用しないため、防火・防爆地区に適応 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。

『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。 エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な場所でも使用できます。 昇圧部シール材としてフッ素樹脂、超高分子量ポリエチレンを使用。 OリングはFKM仕様とカルレッツ仕様から選択可能。 2000年から25年におよぶ市場供給をしております。 【特長】 ■コンパクト設計で組込みに好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能（SSBL-37.5A） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。