『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる 超音波モータ（ピエゾモータ）です。 速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な 摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。 単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで 各種ラインアップ。真空仕様品もございます。 【特長】 ■10nmのステップ分解能 ■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現 ■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲 ■制限のない可動範囲と高い応答性 ■4～32Nの抜群の駆動力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。 こちらも、お気軽にお問合せください。

『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の 分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。 高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、 より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。 ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と 同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。 【特長】 ■高真空アプリケーション ■サブナノメートルの位置決め精度 ■優れたエネルギー変換効率 ■幅広い動的な速度範囲 ■ゼロバックラッシュと高い剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。

FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。

FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。

FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。

Nanomotionのシャッタ技術は、ピエゾテクノロジーを応用することでSWaP（サイズ、重量、および電力）が最適化され、最も困難な環境（さまざまな温度、衝撃、振動）であっても利用が可能です。IRイメージセンサ等のR分野で活躍しています。

Nanomotionのシャッタ技術は、ピエゾテクノロジーを応用することでSWaP（サイズ、重量、および電力）が最適化され、最も困難な環境（さまざまな温度、衝撃、振動）であっても利用が可能です。IRイメージセンサ等のR分野で活躍しています。

EDGEモータはナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）です。 このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。