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【適用分野】 ■ 樹脂材料、セラミックス材料（耐摩耗性向上） ■ 光学部品（キズ付き防止） ■ 自動車部品（10um以上の厚膜作成可能。高品質化、長寿命化、燃費向上による高付加価値化。） ■ プリンター産業（耐摩耗性、耐腐食性向上） ■ ガラスレンズ、プラスチック等の成形用精密金型の離型膜 ■ ハードディスク産業
【適用分野】 ■樹脂材料、セラミックス材料（耐摩耗性向上） ■光学部品（キズ付き防止） ■自動車部品（10um以上の厚膜作成可能。高品質化、長寿命化、燃費向上による高付加価値化） ■プリンター産業（耐摩耗性、耐腐食性向上） ■ガラスレンズ、プラスチック等の成形用精密金型の離型膜 ■ハードディスク産業 ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください。
【仕様】 ■SP3含有率：50～85％ ■硬度：3500～8000Hv ■耐熱温度（窒素雰囲気）：～800℃ ■摩擦係数：～0.1 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■膜厚：1～2um ■硬度：5000Hv ■摩擦係数：＜0.13 ■最大使用温度：500℃ ■色：虹色 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■接触角：～95° ■硬度：20GPa ■摩擦係数：0.1～0.2 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■膜厚：～10nm ■電気抵抗：～105Ωcm ■成膜温度：150℃以下 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳しくは弊社Webサイトをご参照下さい。
【適用分野】 ■ 樹脂材料、セラミックス材料（耐摩耗性向上） ■ 光学部品（キズ付き防止） ■ 自動車部品（10um以上の厚膜作成可能。高品質化、長寿命化、燃費向上による高付加価値化。） ■ プリンター産業（耐摩耗性、耐腐食性向上） ■ ガラスレンズ、プラスチック等の成形用精密金型の離型膜 ■ ハードディスク産業 ※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
【構成例】 ■FCVAソース：6基 ■スパッタソース：2基 ■イオンビーム：1基 【チャンバーサイズ】 ■φ1000 x 600 in height ■φ1200 x 1000 in height ■φ1500 x 1500 in height ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳しくはカタログをダウンロードして頂くか、お気軽にご連絡ください。
【ＦＣＶＡ方式の特長】 ▼低温 : COOL FCVAは、室温での成膜と高いコーティング速度により、 プラスチックやゴムへのコーティングなど幅広いアプリケーションに適応できます。 ▼高品質 : Superior quality FCVAでは、他の技術と比較して、はるかに品質が高く、さまざまなコーティングが可能です。 通常、FCVAで作られる膜は、緻密性、均一性、平滑性、高硬度、耐食性、耐摩耗性に優れ、非常に再現性の高いものです。 ▼広い面積 : large area プラズマスキャニングが提供されており、最大直径12インチの蒸着面積に使用することができます (他の同様の技術では今でも大きな課題として残っています)
【用途】 ■ハードディスク産業 ■精密金型産業 ■コピー機 ■自動車産業 ■光学部品 ■樹脂材料 など
【コーティングサービス紹介】 ○炭素系「ta-C」：薄膜特性で多くの優位性 →高い硬度 →可変膜厚 →小さい表面エネルギー →優れた密着性 →優れた非付着性 →低い磨耗率 →低い摩擦係数（高接触角） →簡単な剥離性（RIEプロセスにより） ○金属系「Micc」：離型性で優れた金属膜 →H-Crの取り扱いおよび処理条件と互換性あり →効率的に膜を剥離することができる →グリーンエポキシ成形コンパウンドにおける付着性の問題を大幅に減らす →メンテナンス・サイクルの間隔を大幅に伸ばす ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ta-CとDLCの比較】 ［Properties：DLC／ta-C］ ○Diamond content：～25%／～85% ○Density：～2g/cm³／～3.3g/cm³ ○Hardness：～15GPa／～50GPa ○Wear rate：～8×10⁻⁸mm³/Nm／～1.0×10⁻⁸mm³/Nm ○Frictional coefficient：～0.14／～0.1 ○Critical load：～250mN／～1200mN ○Coating temperature：～200℃／<80℃ ○Working temperature(without O₂)：～600℃／～800℃ ○Typical thickness：～2μm／～1μm ○Coating vacuum：～10⁻²Torr／～10⁻⁵Torr ○Coating species (particle) energy：<5eV／～70eV ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【MiccとH-Crの特性の比較】 ［特性：Micc／H-Cr］ ○色：銀色 ○膜厚(μm)：～1.5／～3 ○接触角(degree)：94.82／70-80 ○摩耗率(mm³/Nm)：10⁻⁷／10⁻⁵ ○摩擦係数：0.14-0.25／0.5-0.6 ○臨界負荷：良 ○硬さ(GPa)：20／8-10 ○粘着力(H-Crを1として)：0.28／1 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【FCVA真空成膜装置紹介】 ○大型バッチコーティング装置 →2 sets FCVA carbon source →1 set FCVA metal source →1 set Ion Beam source ○精密金型用コーティング装置 →Load/Lock system →FCVA carbon source →Ion Beam source →HV pulsed DC bias ○超大型コーティング装置 →3 sets FCVA carbon source →2 sets FCVA metal source →1 set Ion Beam source →Chamber dimension 1250mm dia X 1000mm height ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【ハードディスク スライダー事例】 [FS1 on Shimadzu DLC-MR3CA] ○GMR スライダーヘッドアプリケーション ○交換可能なクラスターツール ○最大でφ8インチの蒸着エリアで±5%よりも良い均一性 [GMRヘッドのオーバーコートのための必要条件] ○合計膜厚 (Si/DLC) : < 3nm ○耐食性 ○緻密さと硬度 ○耐磨耗性 ○生産性 →蒸着エリア: 8インチ →均一性/再現性: < +/-5% ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【精密金型用コーティングシステム紹介】 ○精密金型用に開発されたFCVAコーティングシステム →ロードロックチャンバーとプロセスチャンバーを装備 ○クリーニングルーム側のオペレータ部を前面に設け 背面をメンテナンス部とした構造 ○ヘビーデューティー生産にも堪えるシステム ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【寸法精度内の加工長での比較】 ○コーティング：無し／ta-C ○加工長(m)：16／56 [加工条件] ○ワーク：プリント基板 ○回転数：35krpm ○送り速度：0.7m/min ○寸法精度：±0.10mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【改善事例詳細】 ○レジン：ABS+30%GF+40% Ceramic Powder →要求：耐腐食性、高い耐摩耗性 →選択フィルム：TAC →コーティング結果：金型寿命が5～10倍に改善 ⇒表面に腐食は見られず、金型の表面が若干摩耗したのみ ○レジン：PPS+45%GF →要求：耐腐食性、高い耐摩耗性 →選択フィルム：TAC →コーティング結果：金型寿命が3～10倍に改善 ⇒表面に腐食は見られず、金型の表面も摩耗なし ○レジン：PVC →要求：剥離剤の不使用、製品の汚染 →選択フィルム：TAC →コーティング結果：金型寿命が3～10倍に改善 ⇒表面に腐食は見られず、金型のTAC成膜表面摩耗したのみ ○レジン：Rubber →要求：耐摩耗性、耐腐食性、離型性の向上 →選択フィルム：TAC →コーティング結果：金型寿命が2～5倍に改善 →表面に腐食は見られず、金型のTAC成膜表面摩耗したのみ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
■主なアプリケーション 腕時計（ベゼル・バンド・摺動部品） 携帯電話やラップトップ機器などのボディー、ロド、摺動部品 貴金属製品への装飾 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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