ディップコート法によるAR(反射防止)コート実績データ

AR(反射防止)コートといえばドライプロセスでの成膜と広く認識されているところですが、ウエットプロセスのディップコート法でも単層コートで反射率1%未満(片面)を実現することが可能です。
ディップコート時の引上げ速度を変えることで、100~160nmの膜厚を5nm刻みでコントロール成膜した実績を膜厚解析データをもとにご紹介致します。
膜厚コントロールを引上げ速度の可変で行えることは、ボトム波長を意図した波長へもってくることが可能となり、光学レンズで求められるボトム波長域550nm~650nmや自動運転のセンサー(LiDAR)に求められる1500nm付近など、目的・用途に応じた成膜も可能となります。
今回のカタログでは引上げ速度はコート剤に応じて変わりますので、各膜厚の解析データを掲載しております。

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