優れた膜厚分布および再現性を実現！マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作可能
当社が取り扱う『CVD装置』をご紹介します。 2周波独立印可方式により、低応力、高硬度、高絶縁性を実現する 「酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置」をはじめ、「DLCコーティング装置」 「カーボンナノチューブ合成装置」などをラインアップ。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置 特長】 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■広範な膜特性の制御可能 ■豊富な蓄積データ ■トレイ搬送にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置 ■DLCコーティング装置 ■カーボンナノチューブ合成装置 ■立体物用プラズマCVD装置 ■PETボトル用プラズマCVD装置 ■コンパクトプラズマ装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【オーダーメイド製作実績（抜粋）】 ■HDDメディア 超薄膜DLC 両面成膜ユニット ■HDDヘッド DLC成膜装置マルチチャンバ仕様 ■HDDヘッド DLC成膜装置バッチ仕様 ■フィルム巾380mm対応 R to RプラズマCVD装置 ■R to R超電導薄膜 サーマルCVD装置 ■巾650mm R to RプラズマCVD電極 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（6）
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
