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New Generation PVD装置

最終更新日:2025年04月02日

株式会社サーマプレシジョン 本社、名古屋営業所
株式会社サーマプレシジョン 本社、名古屋営業所
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中真空域でのスパッタリング技術を使用し、世界で初めて銅ダイレク成膜によるめっきシード層形成技術を開発! 従来以上の生産性を実現!

【特徴】 ■ 真空プロセスで無電解めっきなど従来工法同等以上の高い生産性を実現 ■ 新しいプラズマソースによる高密度プラズマ改質処理が可能 ■ 有機絶縁材やガラスなどへ銅のダイレクトスパッタリングにより高密着プロセスが可能 ■ スパッタリングでは難しいとされる高アスペクト率のTHやBVHへの成膜を実現 ■ 従来のスパッタリング装置に比べ圧倒的な装置コスト競争力がある 【密着強度(ピール強度)】 無アルカリガラス :~10 石英       :~7 エポキシ樹脂   :~6 ポリイミド    :~12

    スパッタリング装置
PVD装置.jpg

次世代基板向け導体層形成『PVD装置』 世界初!銅ダイレクト成膜

PVD装置.jpg
PVD装置.jpg PVD装置  .jpg
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有機絶縁材やガラスなどに銅ダイレクト成膜にて高い密着特性が得られる

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TGV成膜 回路形成

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次世代基板向け導体層形成 PVD装置

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プリント基板を始めとして、半導体・FPD等主要電子部品の製造装置、検査分析装置の販売を通して日本国内、海外の電子部品メーカー様へ最先端の技術を提供しております。業態は商社ながら「技術を語れる商社」として長年の御客様の信頼関係を活かし、様々な顧客に最適なソリューションをご提供し、これからも日本の電子部品産業に貢献して参ります。

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