自動温度プロファイル記録により、プロセスの完全な透明性と管理を実現！
『Kronos』は、最高級品質のInP単結晶を成長させるための高性能VGF (Vertical Gradient Freeze：垂直温度勾配凍結法)システムです。 VGFプロセスでは、多結晶原料を下から上へ方向性をもって凝固させます。 その際、精密に制御された温度勾配と、単結晶の方位を決定する 種結晶によって導かれます。 るつぼを動かすことなく、4つの独立した抵抗加熱ゾーンの加熱出力を コンピュータ制御でゆっくりと下げ、凝固界面を上方へ移動させます。 その結果、転位密度が極めて低く、非常に均質で、再現性が高く量産に 対応できる結晶が得られます。 【特長】 ■断熱設計の最適化により、対流を最小化 ■バヨネットロックによる迅速・簡単な装填/取り出し ■1システムで2種類のインゴットサイズに対応(4インチおよび6インチ結晶) ■高い温度安定性(ΔT≦±0.5K) ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【寸法】 ■高さ：約 3,800 mm(温度プロファイル測定ユニットを除く) ■幅：約 1,920 mm ■奥行き：約 3,000 mm ■重量：約 6,000 kg ■推奨天井高：最低 5,000 mm(上部チャンバー蓋の取り外しのため) ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
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企業情報
PVA Japan合同会社では、世界中の主要産業分野における進歩を推進する先進のシステムと計測ソリューションを提供しています。 半導体から航空宇宙技術まで、幅広い産業分野において、先端材料の製造、精製、検査のための 革新的なシステムを開発・製造しています。 また、材料や部品の音響、化学、光学検査・分析のための高度なソリューションも提供。 当社の製品と技術のポートフォリオは、効率的で信頼性が高く、拡張性に優れた高品質な生産を可能にします。
