半導体製造装置の製品一覧
- 分類：半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
![[チラー]モジュール式チラー M-Pakシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/fce/2000002889/IPROS8941791701173579306.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]リークレス高温対応モデル HTXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/e62/2000002888/IPROS5238684033053271565.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラ―]効率と省エネを追求した ESL-60シリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/506/2000002884/IPROS8738842573397075905.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]省エネモデル MXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/f7f/2000002891/IPROS320021963806305382.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
![[チラー]スループット追求モデル SXシリーズ](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/6c0/2000002893/IPROS2691380432675716836.jpg?w=280&h=280){kind=small}
イプロスランキング/特集ページ掲載中！[フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ
製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ！オゾン破壊係数ゼロ！ 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中！※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可！ ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能（EN-400AR) ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。
半導体製造装置のウェハキャリアに耐熱性に優れたポリイミド樹脂MELDIN（メルディン）が採用されました。
- エッチング装置
