半導体製造装置の製品一覧

用途はアイデア次第！ 重い物が 楽に 軽く 回せる 小型旋回ベアリング「楽っかる(らっかる)」！

• 金属軸受・ベアリング

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• ガスフィルタ

業界トップレベルの耐ノイズ性能を誇ります。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

優れた温度特性を有する高精度センサー

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

±0.25%の高精度圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズ

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６００シリーズ

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

接液部にテフロンを使用

• 半導体検査/試験装置
• その他
• 丸型コネクタ

優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

全ての材質にハステロイを使用

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

高清浄度活性炭を内蔵

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致しました。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ご使用方法に合わせてコネクター種類をご選択いただけます。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• ケーブル

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接点の比較出力を標準装備しております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

小型のＤＩＮサイズ［４８ｍｍ(Ｗ)×２４ｍｍ(Ｈ)×６６ｍｍ(Ｄ)］で、デジタルスケーリングが前面で操作可能です。

• CVD装置
• リレー
• 表示器

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

安定した濾過性能

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

フォトファブリケーションを駆使！ファインパターンが形成可能！

• フォトマスク
• ミラー
• その他受託サービス