圧電デバイスの製品一覧
- 分類：圧電デバイス
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！
- その他搬送機械
微細加工などに好適！従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現！
- その他工作機械
【2021年10月20日(水)～23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します！
当社は、2021年10月20日(水)～23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8ｍｍからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。（コマ番号：2B12）
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
最大1800µmの長ストロークとナノ精度。独自の静電容量センサーで、物理的接触をせずに位置測定
- その他機械要素
- 圧電デバイス
- 直交ロボット
±5 mrad×3 ms収束、0.1 µrad分解能の高速ビームステアを実現
- その他産業用ロボット
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
- リニアモータ
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
サブミリ秒応答、サブナノメートル分解能。ビーム制御に最適。
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
性能劣化のない状態で長期間の使用が可能。高負荷ピエゾスタックアクチュエータ
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造で、レーザービームを精密制御
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
- その他産業用ロボット
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
大偏向角×高速応答で、レーザービーム制御の精度とスループットを向上
- その他産業用ロボット
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
ナノメートル精度の位置決めを、コンパクトかつ高コストパフォーマンスで実現
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- エンコーダー
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
- その他産業用ロボット
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
44 mm角のコンパクト設計。120 µm動作量と0.2 nm分解能を実現するピエゾナノポジショニングステージ
- 圧電デバイス
- アクチュエーター
- エンコーダー
最大800Nの保持力と5nm分解能を実現。半導体製造装置の高精度位置決めを支える高推力ピエゾドライブ
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- その他機械要素
長距離ナノポジショニング用PiezoWalk(R)ドライブ。高分解能・コンパクト設計。
- アクチュエーター
- リニアモータ
- 圧電デバイス
ミラー・光学素子の微細調整に最適な高保持力コンパクトアクチュエータ
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
最大13 mmストロークで顕微鏡フォーカスを精密制御
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- ソレノイド・アクチュエータ
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
- アクチュエーター
- 直交ロボット
- 圧電デバイス
微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー
- アクチュエーター
- 直交ロボット
- 圧電デバイス
100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ
- アクチュエーター
- 直交ロボット
- 圧電デバイス
高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
- アクチュエーター
- 直交ロボット
- 圧電デバイス
平坦度5 nm・分解0.3 nm、高速＆高精度動作を実現するXY軸ピエゾスキャナ
- アクチュエーター
- 圧電デバイス
- エンコーダー
