CVD装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

安定した濾過性能

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

どのような形状の品物に対しても制限なく使用できる、CVDコーティング装置

• CVD装置

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

様々なニーズに対応

• CVD装置

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止してポンプ性能を延命させます。

• CVD装置

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 蒸着装置

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

• コーター
• CVD装置
• ステッパー

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

• コーター
• CVD装置
• エッチング装置

真空ポンプ用メンテナンス部品

• CVD装置
• 真空ポンプ
• そのほか消耗品

超高温耐熱　O-Ring

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他環境分析機器

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 分析機器・装置

半導体用トランスデューサー

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

PLAD-221-Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250E PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250R PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-271PE PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-150Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-161 PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-261PG PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

エキシマレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

磁性流体シール

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

TrueSeal　Fitting

• CVD装置
• その他環境分析機器
• 水処理装置

プラズマ、レーザー用大出力高周波電源

• その他加工機械
• CVD装置
• レアメタル

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

• 半導体検査/試験装置
• 酸化/拡散装置
• CVD装置

ガスボックス

• CVD装置
• エッチング装置