スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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100万回繰り返しても壊れない!確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

  • センサ

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直径30mm程度から8インチ、高ライフタイム、1万オームを超えるような高抵抗も対応可能!薄化、チップ加工もアレンジいたします!

  • その他半導体
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「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有!

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  • スパッタリング装置

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基板温度900℃を実現!基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現

  • スパッタリング装置

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半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

  • スパッタリング装置

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半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

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  • スパッタリング装置

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省スペースで大容量!各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能!

  • スパッタリング装置

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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です!

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  • スパッタリング装置

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立体物成膜での高いカバレッジを実現! 最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です!

  • スパッタリング装置

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相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

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  • スパッタリング装置

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繊維・フィルムへの真空スパッタリング加工で抗菌・消臭付加価値製品を提案いたします。

  • スパッタリング装置

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中真空域でのスパッタリング技術を使用し、世界で初めて銅ダイレク成膜によるめっきシード層形成技術を開発! 従来以上の生産性を実現!

  • PVD装置  .jpg
  • スパッタリング装置

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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。

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  • 半導体検査/試験装置
  • エッチング装置
  • スパッタリング装置

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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか?

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  • 半導体検査/試験装置
  • エッチング装置
  • スパッタリング装置

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製造ラインの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しませんか?生産コストの削減も可能です!

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  • エッチング装置
  • スパッタリング装置
  • 圧力計

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LEDやLD、FET等の各種デバイスにおける電極形成プロセス、実装プロセスが可能

  • LEDモジュール
  • スパッタリング装置
  • ウエハ加工/研磨装置

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改造設計巻取機.jpg

【設計・カスタマイズ】巻取機

装置のカスタマイズ、改造設計のみをお受けしました。 お客様/精密機械部品メーカー 様 エンドユーザー/電子機器メーカー 様 ご依頼内容/既存装置を使った改造設計 主な仕様 小型リチウムイオン電池部品を搬送/搬送治具からの切り出し リールテーピング/レーザーマーキング/リール巻き取り 装置寸法/W3,500mm × D1,200mm × H1,000mm 今回、機械・装置設計のみを承りました。 ワーク搬送治具の供給部分、ワークの切り出し/取り出し/送り出し部分、 リール巻き取り部分の機械設計を担当致しました。 部品調達、組立等、機械設計以外の部分は、お客様の方が対応されました。 設計のみの案件もお受けしております。 オーダー装置はもちろん、既存装置を使用した今回の様に お客様のご要望に合わせて柔軟に対応が可能です。 装置・治具製作に於ける、設計から据付までの一連の流れをワンストップで お受けできる点が私たちの1番の強みでもあります。 搬送、ロボット、生産設備 等、装置・治具に関するお悩みを是非一度お聞かせ下さい。

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