蒸着装置の製品一覧

大阪空気機械製T型トラップの代替品・油回転・水封式真空ポンプの保護装置

• 真空ポンプ

《数千個/月の量産OK》ロボットで塗装を行うので再現性と安定した品質を実現！コストダウンのご提案も可能。

• アルミニウム

分子を基板表面に堆積させ、薄膜を形成させる技術！真空蒸着について解説！

• 蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用！

• 蒸着装置

グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能です！

• 蒸着装置

基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能！蒸着ポジションを調整できます

• 蒸着装置

基板回転・基板加熱対応のホルダーを搭載！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置

トランスファーロッドにより、各室間を搬送！大気解放することなく連続成膜可能！

• 蒸着装置
• スパッタリング装置

EB源増設ポート付！4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています！

• 蒸着装置

保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決！次世代環境対応！

• リフロー装置
• 蒸着装置
• ボンディング装置

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞かせください。

• 蒸着装置
• センサ
• 製造受託

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付き。

• グローブボックス
• 真空機器
• 蒸着装置

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステム

• グローブボックス
• 真空機器
• 蒸着装置

MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要です。実績豊富なRIBER社製MBEセルを紹介します。

• 蒸着装置

材料手配からHeリークテストまで1社で対応致します。

• 真空機器
• 蒸着装置

材料には高純度・安定した溶解が要求されます。当社では、蒸着に適した材料を提供しています！

• 蒸着装置

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

• 蒸着装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用できます

• 蒸着装置

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着

• 蒸着装置

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸着のご紹介

• 蒸着装置
• その他機械要素

スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の視野を確保、シヤッター板の駆動空間が不要で装置取付も容易

• 真空機器
• 蒸着装置
• 電子顕微鏡

UHV対応の小型蒸発源です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。

• 蒸着装置
• 分析機器・装置
• 電子顕微鏡

スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の視野を確保、シヤッター板の駆動空間が不要で装置取付も容易

• 真空機器
• 蒸着装置
• その他半導体製造装置

蒸着装置

• 蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成膜に適した製品です。

• 蒸着装置

弊社は蒸着材料の製造・販売のみならず、蒸着関連用品も各種取り扱っております。蒸着材料と合わせてご用命ください。

• 蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます！

• 蒸着装置

「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有！ご用命の際はお問い合わせください

• 蒸着装置

好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセスに対応

• 蒸着装置

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

• エッチング装置
• 蒸着装置
• その他表面処理装置

HFC冷媒ガス無使用

• 蒸着装置

メッキは環境に悪い、形状的に転写箔は使えない・・・。そんな時には直接アルミを加工してしまいましょう！

• 蒸着装置
• 加工受託

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動です

• 蒸着装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプレーティング装置）だから可能な小型部品対応の端面電極成膜。

• 蒸着装置
• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械

半導体製造装置のアルミ精密部品　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡張性高く、シンプル。それで価格もリーズナブル。

• 蒸着装置

ロボットプログラムによる自動実装も可能。製造・物流でのコスト低減に！2液性と異なり、実装後すぐに使用も〇、熱処理の後工程が不要。

• その他半導体製造装置
• 蒸着装置

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

• 蒸着装置
• 分析機器・装置

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面を実現。超高真空対応のハードが実現する高品質電極膜

• 蒸着装置

組合せによる透湿防水等の機能の付加加工を行い、各種産業資材として提供！

• 蒸着装置
• その他高分子材料

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介します！

• 蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着面の制御を可能に。水晶振動子、薄膜抵抗に独自プロセスを提供

• 蒸着装置

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• 蒸着装置

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から実績豊富な裏面電極用量産用まで、信頼と充実のラインナップ

• 蒸着装置
• その他表面処理装置

プラスチック成型品での蒸着、塗装、印刷でお困りの方いませんか？印刷・塗装・蒸着のサービスを弊社では一貫生産で行うことが可能です。

• 蒸着装置
• 製造受託
• 加工受託

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• シール・密封
• CVD装置
• 蒸着装置

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• レアメタル
• 蒸着装置
• その他機械要素

機能面もご満足いただける仕上がり！小ロット多種品の生産にも対応可能なライン構成

• 蒸着装置
• 製造受託

ほぼ真空にした空間で薄膜を形成する成膜技術！真空蒸着の原理についてご紹介

• 蒸着装置
• 製造受託

製品の美しさはもちろんのこと、機能面もご満足いただける仕上がりにいたします！

• 蒸着装置
• 製造受託

様々なタイプの蒸着源をご用意しております

• 蒸着装置
• その他実験器具・容器

弊社では真空蒸着・塗装・印刷をワンストップサービスを行っています。自動車業界、医薬品メーカーなどに一貫生産で期待に応えています！

• 製造受託
• 蒸着装置
• 車体系部品

シンプル　コンパクト　高機能　実験、基礎研究に最適　ユーザーニーズに応じた柔軟にカスタマイズ　標準型蒸着装置

• 蒸着装置
• その他理化学機器
• その他表面処理装置

コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応　高速バッチ処理で樹脂表面処理のドライ化実現

• 蒸着装置

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　樹脂メタライズ・不連続膜形成　自動車部品の量産用標準型

• その他塗装機械
• 蒸着装置
• めっき装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任意に変更可能

• 蒸着装置

高電圧リレー

• CVD装置
• 蒸着装置
• スイッチ

限りない光への挑戦！反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで加工しています

• ガラス
• 加工受託
• 蒸着装置

レーザー微細形状加工：ニッケル六角トリミング加工

• 加工受託
• 蒸着装置
• エンジン系部品

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

• 蒸着装置
• その他半導体製造装置
• エッチング装置

カフマングリッドレスイオンソース一式

• 蒸着装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置