工業炉の製品一覧

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

センサ

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

その他半導体
加工受託
ウエハー

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マルチ雰囲気炉｜液体原料を気化導入する熱CVDコーティング炉

気化器＋マルチ雰囲気炉で、狭隙・内面・凹部への熱CVDコーティングを検討

工業炉

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小型塩素炉｜塩素・塩化水素ガスを安全に扱う試験炉

負圧運転・耐食設計・スクラバー連動で、Cl2/HCl処理を小型炉で安全に検討

工業炉

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小型塩素炉｜都市鉱山から有価金属を乾式分離・回収

温度・塩素分圧・圧力を制御し、Au・Cu・Sn・Fe・Niなどを塩化揮発で選択分離

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小型塩素炉｜Cl2・HCl雰囲気での高温腐食評価に対応

Cl2・HClを含む高温腐食環境で、材料選定・寿命評価・腐食解析に対応

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小型塩素炉｜CNT・黒鉛・カーボンブラックの高純度化に対応

CNT・黒鉛・カーボンブラック中の金属不純物を、Cl2/HClでドライ除去

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小型塩素炉｜セラミックス粉の金属不純物を乾式除去

SiO2・Al2O3・Si3N4粉末中の金属不純物を、母材を残して選択除去

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小型塩素炉｜MOCVD治具・石英ボートの付着物除去に対応

GaN・AlN・Si系付着物をCl2/HClで塩化揮発し、治具をドライ洗浄

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小型塩素炉｜金属塩化物の選択揮発による不純物分離

Cl2・HClで金属不純物を塩化物化し、母材を残して選択分離

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マルチ雰囲気炉｜セラミックス焼結・緻密化条件の再現性向上

露点・酸素濃度を管理し、セラミックス焼結・緻密化条件を再現性よく評価

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マルチ雰囲気炉｜化学反応・反応性ガス処理・排ガス評価向け

反応性ガス・排ガス処理まで含め、化学反応プロセスの条件検討をサポート

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マルチ雰囲気炉｜環境浄化材料の焼成・排ガス評価向け

真空・Air・NH3などの雰囲気制御で、環境浄化材料の焼成と排ガス評価をサポート

工業炉

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メタル炉｜半導体部品の気密封止・ろう付け・高真空熱処理向け

高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート

工業炉

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分析用サンプル前処理向けメタル炉｜高真空・高純度雰囲気対応

高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート

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研究開発向けメタル炉｜真空・還元雰囲気・高温熱処理対応

真空・還元雰囲気で、材料開発や高温熱処理をサポート

工業炉

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メタル炉｜光学部品の封着・ろう付け・高純度雰囲気焼成向け