CVD装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

• CVD装置

小型なボディで装置組込みの省スペース化！

• CVD装置

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用！

• CVD装置

【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集

• その他半導体製造装置
• バルブ
• CVD装置

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• バルブ
• CVD装置

『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 酸化/拡散装置

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。

• CVD装置
• 酸化/拡散装置
• その他半導体製造装置

『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 酸化/拡散装置

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！

• CVD装置
• 酸化/拡散装置
• その他半導体製造装置

『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中

• CVD装置
• その他半導体製造装置
• バルブ

内径わずか1mmのパイプの内側にも施工可！潤滑、耐蝕、離型に優れているので用途は厨房機器から宇宙機器に至るまで様々です。

• その他表面処理装置
• CVD装置

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。

• ウエハー
• CVD装置
• ウエハ加工/研磨装置

中古半導体製造装置

• CVD装置

フッ素樹脂チューブライニングとは、金属パイプ内面にフッ素樹脂チューブ（内径3mm～）を焼付して接着させるライニング技術です。

• 印刷機械
• ろ過装置
• CVD装置

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項　対応可）

• CVD装置
• プラズマ表面処理装置
• ガス回収/処理装置

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラインの省スペース化設計/施工性向上をお助けします。

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 酸化/拡散装置

小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/S可変機構付き！

• CVD装置

半導体、液晶製造装置用部材、耐熱、耐食部材、セッター、放熱板に！

• CVD装置

日新技研社〜単結晶育成装置〜総合カタログ　無料配布中！

• CVD装置

液漏れを早期に発見し事故を最小限に防止！油、有機溶剤検知器にＲｏＨＳおよびＣＥ対応のＯＤ－７が加わりました。

• CVD装置

Agnitron社にて独自開発された、高性能、高スループット先端化合物半導体向けMOCVD装置を提供します。

• CVD装置

最新の制御機能とデータロギング機能を有する、WindowsベースのSCADAパッケージMOCVD装置制御ソフトウエアです。

• CVD装置

Agnitron社で開発されたAgniTemp-MOCVD In-situ温度モニターは高精度、高安定である温度モニターです。

• CVD装置

完全に再生(リファブ)され、アップグレードされたレガシーMOCVD装置を最良のサービス、サポートと共に提供します。

• CVD装置

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精度に測定するIn-situモニター。

• CVD装置

高温アンモニアに耐性があり、容易に高温が得られる機能部品、高温用ヒータ、構造材。窒化物の単結晶成長からウェハプロセスまで対応。

• CVD装置

なぜ断熱材『シルサーム』を導入するのか？そのメリットを解説します。

• CVD装置
• 工業炉
• アニール炉

高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

• CVD装置
• その他半導体製造装置

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプルテストで開発サポート。コンパクトタイププラズマ表面処理装置

• プラズマ表面処理装置
• CVD装置

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

• ウエハー
• CVD装置
• 加工受託

アルミ切削／アルミ加工／アルミ機械加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• コーター

砂型鋳造、金型鋳造、金型鋳造、ダイカスト鋳造、石膏鋳造など、あらゆる鋳物品加工を対応いたします。最大900×900×1000ｍｍ

• ステッパー
• 半導体検査/試験装置
• CVD装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能。

• 基板加工機
• CVD装置
• その他半導体

旋盤加工／アルミ加工／精密部品加工

• CVD装置
• スパッタリング装置
• アニール炉

金属加工/大阪/ステンレス

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• エッチング装置

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• アッシング装置
• 半導体検査/試験装置

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

A5056／旋盤加工／アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ切削／A5052／旋盤加工／大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

• CVD装置

GaNマイクロLEDメサ加工の結果、GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載！

• CVD装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

ブレードダイシングとプラズマダイシングの比較などを掲載しています

• CVD装置

シリコンのノンボッシュプロセスの新しいデータを掲載しています

• CVD装置