その他半導体製造装置の製品一覧
- 分類：その他半導体製造装置
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市販のファンクションジェネレータと超音波発振プローブを利用した、超音波の発振制御システム
- その他半導体製造装置
- その他表面処理装置
- 超音波洗浄機
超音波洗浄器を利用した、「音響流のコントロール技術」を開発ーー脱気ファインバブル発生液循環装置の利用ーー
超音波システム研究所は、 オリジナルの超音波測定解析評価技術により 超音波洗浄器を利用した「音響流の利用技術」を開発しました。 ＜＜音響流の利用技術＞＞ １）２種類の超音波を利用した洗浄 ２）流水式超音波洗浄（超音波シャワー） ３）表面を伝搬する高調波（１ＭＨz以上）の利用 ４）ガラス容器の音響特性を利用 ５）キャビテーションと定在波の最適化（音圧測定解析）を利用 ６）その他（非線形現象、相互作用・・） ＜＜音響流＞＞ ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊ 一般概念 有限振幅の波が 気体または液体内を伝播するときは、 音響流が発生する。 音響流は、 波のパルスの粘性損失の結果、 自由不均一場内で生じるか、 または音場内の障害物 （洗浄物・治具・液循環）の近傍か あるいは振動物体の近傍で 慣性損失によって生じる 物質の一方性定常流である。 音響流は、 大多数の超音波加工工程、 浄化、乾燥、乳化、燃焼、抽出・・・ 過程での 重要な強化因子であり、 媒体内の熱交換と 物質交換を著しく促進する。
カスタムメイドで理想を満たすディスペンサーをご提案。まもなく登場する新型機のメリットをご紹介
- その他半導体製造装置
データセンター、半導体等の製造現場、病院、マンションなどで装置内部や配管、水回りの漏水を早期かつ確実に発見し、お知らせします。
- その他半導体製造装置
超音波発振制御プローブのオーダーメード対応
超音波システム研究所は、 ９００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を制御可能にする 超音波プローブのオーダーメード対応を行っています。 目的に合わせた、 オリジナル超音波発振制御プローブを製造開発対応します。 ポイントは、オリジナルプローブの動作確認です。 超音波の送受信について、ダイナミックな変化に対する 応答性が最も重要です。 この特性により、高調波の応用範囲が決定します。 現状では、以下の範囲について対応可能となっています。 超音波プローブ：概略仕様 測定範囲 ０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 発振範囲 ０．５ｋＨｚ～ ２５ＭＨｚ 伝搬範囲 ０．５ｋＨｚ～９００ＭＨｚ以上（解析確認） 材質 ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 発振機器 例 ファンクションジェネレータ ＜金属・樹脂・ガラス・・・の音響特性＞を把握することで 発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性について 目的に合わせた伝搬状態を実現します 超音波伝搬状態の測定・解析・評価技術に基づいた、基礎技術です。
超音波を＜超音波ダイナミックシステムとして＞とらえ、解析と制御を行います
- 超音波洗浄機
- その他半導体製造装置
- 技術セミナー
超音波洗浄器にメガヘルツ超音波を追加する技術――オリジナル超音波プローブによる非線形発振制御技術――
超音波システム研究所は、 超音波洗浄器に関して、 ファンクションジェネレータと オリジナル超音波発振プローブを利用することで、 ２０ＭＨｚ以下の発振で、 ２００ＭＨｚ以上の超音波伝搬状態を利用可能にする 超音波発振制御技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 精密洗浄・加工・攪拌・・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性（表面弾性波）の利用により ２０Ｗ以下の超音波出力で、５０００リッターの水槽でも、 対象物への超音波刺激は制御可能です。 弾性波動に関する工学的（実験・技術）な視点と 抽象代数学の超音波モデルにより 非線形現象の応用方法として開発しました。 振動測定用超音波プローブ：概略仕様 測定範囲 ０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 発振範囲 １ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 伝搬範囲 １ｋＨｚ～９００ＭＨｚ以上 材質 ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 測定機器 例 オシロスコープ 発振機器 例 ファンクションジェネレータ
超音波の測定解析が容易にできる 超音波テスターＮＡ（オシロスコープ10MHzタイプ）
- 超音波洗浄機
- その他半導体製造装置
- その他計測・記録・測定器
ポリイミドフィルムに鉄めっきを行った部材を利用した超音波プローブ（鉄めっきの超音波伝搬特性の利用技術）
超音波システム研究所は、 ポリイミドフィルムに鉄めっきを行った部材を利用した 超音波発振制御プローブを開発しました。 この技術を、応用して、各種曲面への 「超音波・振動の計測、伝搬制御・・・」についてコンサルティング対応しています。 超音波プローブ：概略仕様 測定範囲 ０．０１Ｈｚ～１００ＭＨｚ 発振範囲 １ｋＨｚ～２５ＭＨｚ 伝搬範囲 １ｋＨｚ～９００ＭＨｚ以上 材質 ステンレス、ＬＣＰ樹脂、シリコン、テフロン、ガラス・・・ 発振機器 例 ファンクションジェネレータ ＜対象物・設置状態・・・の音響特性＞を把握することで 表面弾性波（伝搬状態）のダイナミック制御を実現しました。 各種目的（洗浄、攪拌・・）に合わせた伝搬状態を実現します 超音波の伝搬特性 １）振動モードの検出（自己相関の変化） ２）非線形現象の検出（バイスペクトルの変化） ３）応答特性の検出（インパルス応答の解析） ４）相互作用の検出（パワー寄与率の解析）
半導体業界におけるトータルエンジニアリングパートナー 2,000件を超える半導体分野の実績
- レジスト装置
- ウエハ加工/研磨装置
- その他半導体製造装置
SEMICON Japan 2024 出展
12月11日(水) ～13日(金)に東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024 に出展します ご来場の際は、ぜひ当社ブース 東６ホール ６４２６ にお立ち寄りください
新製品の「白色・灰色ゴムコレット」など半導体後工程における周辺のツール関する製品を展示！
- その他半導体製造装置
エアー消費を１/２HP以下に抑え、約３０％の電力コスト軽減！ATMA社製 片持ち式印刷機
- その他工作機械
- その他加工機械
- その他半導体製造装置
2024SEMICON Japan
弊社は、ウェーハ搬送に特化した高精度ロボットアームの製造に注力しています。航空機産業で培った先進技術と厳格な品質管理を通じて、精度5μ～10μの高精度な製品をお届けし、外観には傷ひとつない仕上がりを実現。お客様に安心してご使用いただける、信頼の製品を提供しています。 今回の展示会では、ウェーハ搬送アームやフレームのほか、現在開発中の半導体製造用集積化ガス供給システムに関する最新のボディ、そしてシール面加工に不可欠な高精度なヘール加工品もご紹介いたします。技術革新と品質の高さをぜひご覧ください。 次の分野の企業・団体が出展をしています。 ■ 先端半導体および将来アプリケーション AI、機械学習、5G/6G通信技術、量子コンピューティング、自動車（EV、自動運転）、VR/メタバース、宇宙、空モビリティ/ドローン ■ 半導体製造装置 半導体用設計装置、マスク製造用装置、ウェーハ製造用装置、ウェーハプロセス用装置、組立用装置、検査用装置、その他関連装置 ■ 半導体製造用部品・材料 プロセス材料、テスト材料、組み立て材料、基板、パーツ・サブシステム
同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハイパワーUV出力最大80W、水銀不使用、
- ステッパー
- その他半導体製造装置
SEMICON Japan2024出展
開催日：2024年12月11日(水)～13日(金) 開催場所：東京ビッグサイト 東展示棟 Hall 7 ご紹介製品 ・マスクアライナー、周辺露光、ステッパー向け高出力LED照射装置 ・半導体表面検査装置 ・動画撮影可能ハイパースペクトルカメラ ・小型分光器 ・LPP-EUV光源 ・レーザー励起白色光源（190～2500nm) ・VUV,X線領域対応 超高感度CCDカメラ ・プラズマ源 ・SC光源（スーパーコンティニューム光源）
ご来場の御礼：IEEE 3DIC@仙台 9/25-9/27
皆さまのおかげをもちまして、本出展を盛況のうちに終えることができました。 心より感謝申し上げますと共に、ご来場いただきました皆さまには心より御礼申し上げます。 今後とも宜しくお願い申し上げます。 ------------------------------------------------- IEEE International 3D Systems Integration Conference (3DIC)にてブース展示させて頂く事となりました。 半導体工程に関する最先端技術発表の場に参加できますことを光栄に思いますと共に、多数のゲストの方々とご交流させて頂けることを願っております。
BATCHSPRAY技術に100％フォーカス！水・排気・化学品を大幅に削減
- その他半導体製造装置
17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ！
- バルブ
- その他半導体製造装置
- 真空機器
量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フォトマスク洗浄装置】を御紹介します。
- その他半導体製造装置
エアーの力で重量物を浮上させ、ごくわずかな力で搬送できる装置です！国内設計のため用途に応じたカスタマイズやデモ機も貸出可能です。
- その他搬送機械
- その他クリーンルーム用機器・設備
- その他半導体製造装置
エアーの力で重量物搬送！「エアーキャスター」【デモ機貸し出し可能】
エアーの力で重量物を浮上させ、ごくわずかな力で搬送できる装置です！ 床面との間にエアーの膜を作ることにより、重量物を浮揚状態とし、ごくわずかな力で移動搬送することができます。 ご興味・ご質問ございましたらぜひ一度お問い合わせください。 商品の使用例をまとめた動画・写真集のCDもご希望の方にお送りいたします。 ぜひ一度お問い合わせください。 『イプロスを見て』とお声がけください。
CVD, PVD（蒸着, スパッタ等）均熱性・再現性に優れた高真空 超高温 ウエハー・小片チップ加熱用 プレートヒーター
- その他半導体製造装置
- アニール炉
- CVD装置
◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃
HTEヒーターは最高使用温度1500℃の真空装置用高温加熱ヒーターです。 蒸発温度の高い材料も蒸発することができますので、低温有機蒸着（～ 800℃）セルから高温抵抗加熱蒸着（～ 1500℃）MBEセルまで、真空高温ヒーター・蒸着セルとして幅広い様々な用途に活用頂けます。 シャッター・アクチュエータ、水冷ジャケットも用意。 800℃以上の高温ヒーター仕様は、内部シールドを備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計。 【主仕様】 ■最高制御温度：800℃、又は1500℃ ■使用環境：真空中・不活性ガス（*O2 は800℃まで） ■ヒーター：タングステンフィラメント ■るつぼ容積：1cc（最大充填量1.5cc） ■るつぼ材質：アルミナ ■ケース材質：SUS304, 又はモリブデン ■熱電対：K、又はC 【オプション】 ⚫︎るつぼ材質：PBN, グラファイト, 石英 ⚫︎ヒーター：NiCr 線, カンタル線（*O2 用） ⚫︎るつぼ容積：10cc（最大充填量15cc） ⚫︎シャッター：空圧式, 又はモーター駆動 ⚫︎水冷ジャケット ⚫︎コントローラー（ヒーター・シャッター制御）
高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式スパッタリング装置
- その他半導体製造装置
- スパッタリング装置
多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-125】Φ8"対応 SiCコーティング 1000℃ヒーターステージ 搭載！コンパクトサイズ！
多元マルチスパッタリング装置（Φ8inch基板対応） ・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ ・RF500W, DC850W両電源を3元カソード（Source1, 2, 3）へ自在に配置変更 ・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード（4）で使用 ・基板加熱ステージ Max800℃（SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能） ・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング ・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W ・LLチャンバー ＜30W 低出力制御ソフトエッチング ・独自の"Soft-Ething"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減 ・タッチパネル又はWindows PC操作：操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。 ・装置設置寸法：1,960(W) x 1,100(D) x 1,700(H)mm ・マルチチャンバー式も製作可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。
安心のCEマーキング適合品！超低速ディップコーターで品質と信頼を
- その他半導体製造装置
- 表面処理受託サービス
- その他表面処理装置
量産および試作開発で優れた高精度搭載精度を発揮。 ※ボンディングに関する技術資料を配布中
- その他半導体製造装置
業界最速クラスの圧力校正器。モジュール式でライン停止時間を短縮、設備コストを低減します。
- その他FA機器
- その他半導体製造装置
- 圧力計
圧力機器JCSS校正のご案内
2022年7月より、当社JCSS校正センターは計量法計量法トレーサビリティ制度（JCSS）のデジタル圧力計の校正範囲の拡大および校正測定能力の向上を行いました。校正範囲を拡大したことで、当社気体圧力製品の点検も含めたJCSS校正サービスをより幅広くご提供することが出来るようになりました。 この機会にメーカーでのJCSS校正をご活用ください。 〇 デジタル圧力計校正範囲の拡大 気体ゲージ圧力(正圧) : 5 ～ 7000 kPa (拡大前：70 ～ 2000 kPa） 気体ゲージ圧力(負圧) : -95 ～ -5 kPa（拡大前：:-95 ～ -20 kPa) 気 体 絶 対 圧 力 : 5 ～ 350 kPa （拡大前：75 ～ 115 kPa) 〇 英文でのJCSS校正証明書の発行にも対応 〇 他社製のデジタル圧力計もご相談ください 日本ベーカーヒューズ株式会社 〒104-0052 東京都中央区月島4-16-13 ドラック事業本部サービス部 電話：03-6894-1838
シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研究開発や小ロット生産に対応
- その他半導体製造装置
OptiSeal VSEは万能な外圧用面シール。低摩擦で耐薬品性に優れ極低温から高温環境に使用可能！
- シール・密封
- その他機械要素
- その他半導体製造装置
OptiSeal JBRはJIS B2401のP番溝に対応した万能なロッド/ピストン兼用シール。低摩擦で耐熱、耐薬品性に優れる。
- その他機械要素
- その他半導体製造装置
- シール・密封
開発期間の短縮・コストメリットに！複雑形状組付品の一体化や中空化、肉抜き造形による部品の軽量化・材料ロスにも繋がるメリットを紹介
- その他半導体製造装置
不良検出の時間が早く、より視認性の高く、チップへの傷への配慮が成された半導体用コレット
- その他半導体製造装置
最短半日見積り／アルミ、ステンレスなどの金属部品を1個から単品加工いたします。
- その他半導体製造装置
【設計・カスタマイズ】巻取機
装置のカスタマイズ、改造設計のみをお受けしました。 お客様／精密機械部品メーカー 様 エンドユーザー／電子機器メーカー 様 ご依頼内容／既存装置を使った改造設計 主な仕様 小型リチウムイオン電池部品を搬送／搬送治具からの切り出し リールテーピング／レーザーマーキング／リール巻き取り 装置寸法／W3,500mm × D1,200mm × H1,000mm 今回、機械・装置設計のみを承りました。 ワーク搬送治具の供給部分、ワークの切り出し／取り出し／送り出し部分、 リール巻き取り部分の機械設計を担当致しました。 部品調達、組立等、機械設計以外の部分は、お客様の方が対応されました。 設計のみの案件もお受けしております。 オーダー装置はもちろん、既存装置を使用した今回の様に お客様のご要望に合わせて柔軟に対応が可能です。 装置・治具製作に於ける、設計から据付までの一連の流れをワンストップで お受けできる点が私たちの1番の強みでもあります。 搬送、ロボット、生産設備 等、装置・治具に関するお悩みを是非一度お聞かせ下さい。
回転機構標準装備のUV照射装置『TTUV011』3Dプリンタ追露光、塗装やコーティング硬化、ダイシングテープ剥離など
- その他半導体製造装置
