【ディスプレイ製造向け】多軸モーションコントローラーHIMC3
薄膜製造工程の精度と効率を向上させる多軸モーションコントローラー
ディスプレイ製造業界では、薄膜形成工程における精密な位置決めと同期制御が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、薄膜の均一性や膜厚の精度は、ディスプレイの表示性能に直接影響するため、高いレベルの制御が求められます。HIMC3は、最大32個のサブデバイスへの対応と最大16軸の制御により、薄膜製造工程における高度なモーション制御を実現します。 【活用シーン】 ・薄膜成膜装置 ・スパッタリング装置 ・蒸着装置 ・フォトリソグラフィ装置 【導入の効果】 ・薄膜形成工程の精度向上 ・生産性の向上 ・歩留まりの改善 ・製品品質の安定化
- 企業:ハイウィン株式会社
- 価格:応相談