更新日： 集計期間:2025年10月08日～2025年11月04日
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）：1200(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または７”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現します。 【特徴】 ◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。 ◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。 【MiniLab対象】 ◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、EB蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。
電子顕微鏡観察のお悩みを解決！チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽減に絶大な効果を発揮
『オスミウム・プラズマコーター』は、「直流グロー放電による 負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた電子顕微鏡試料用の 導電性薄膜作製装置です。 プラズマCVD法により、非晶質のオスミウム導電性薄膜(オスミウムコート)を 短時間に形成することができます。 非常に強固かつなめらかな表面の導電性薄膜が試料に対し熱ダメージを 与えることなく得られます。 【特長】 ■フルオート操作 ■オスミウム昇華室/ナフタレン昇華室の着脱が可能 ■オスミウム/ナフタレンの残量確認が可能 ■製膜時間が短い（数nm/数秒） ■アンプルは昇華室の中で割る安全構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用！光CVD法の製膜速度についてご紹介
金属や高分子材料の表面に薄膜を製膜することにより、材料表面の 機械的性質、熱的性質、化学的性質、電気的性質をコントロールする ことができます。 この表面改質に用いる薄膜の製膜方法には、真空蒸着法やPVD法、 プラズマCVD法など、様々な方法を採用。今後とも新たな製膜方法の 探索や開発が続けられていくものと考えられます。 そこで当資料では、「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を 利用した薄膜製造プロセスの可能性について、検討を行った結果を ご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を用いた光CVD法の製膜速度 ■おわりに ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度・短納期・少量多品種などお客様のご要望に対応いたします！
株式会社和絋工業は、主にガラス製品薄膜加工を行っている会社です。 当社では薄膜コーティング技術で最先端情報機器の発展に貢献しています。 また、高精度・短納期・少量多品種などお客様から寄せられる様々な ご要望にきめ細かに対応いたします。 真空蒸着装置や測定器、環境試験機など新鋭設備で信頼にお応えいたします。 【主な事業内容】 ■ガラス製品薄膜加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
強度区分の高い高炭素系鋼材（クロームモリブデン鋼や高張力鋼）の処理に好適！
『LAFRE(R)（ラフレ(R)）』は、環境対応・薄膜・高耐食性を 基本コンセプトとして開発した防錆処理技術です。 亜鉛、錫、アルミニウムの3種類の金属を含有する密着性に優れた 無機系皮膜で、合金めっきのような耐食性に富んだ強靭な皮膜で 素地を保護します。 【特長】 ■環境対応型 ■高耐食性 ■薄膜・耐熱性 ■塗膜の損傷・損失を軽減 ■上塗り密着性 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
透過率80％以上、シート抵抗8Ω／□以下のFTOを成膜！卓上タイプで実験室や開発現場で活躍する成膜装置 ※カタログ＆サンプル進呈
SPD方式の小型低コスト成膜装置（薄膜製造装置）シリーズです。 SPDの装置は、真空でなくとも生成できるため、クリーンルームも必要なし。 また、設備も卓上タイプでコンパクトなため、実験室や開発現場での使用に最適です。 【特長】 ■卓上タイプのコンパクトな薄膜製造装置 ■非真空のため、クリーンルームも必要なし 【ラインナップ】 ■KM-300 ■KV-25 ■KV-50 ■KM-150 ■KV-100 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに金属蒸着・有機蒸着・スパッタカソードを設置
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ） ・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm ・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ） ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）
付着防止等の用途に最適！膜厚20～100μm程度のフッ素樹脂コーティング
『フッ素樹脂コーティング（薄膜）』は、一般的に膜厚20～100μm程度のコーティングです。 フッ素樹脂の代表的な製品でもある「PTFE」、高性能の「PFA」、皮膜が滑らかな「FEP」があり、主に付着防止、成型品の離型、滑り目的として使われています。 【特長】 ■PTFE：非粘着性、離型性、低摩擦特性（滑り性）、耐熱性に優れている ■PFA：特性はPTFEに類似している点が多く、ピンホールが少ない ■FEP：耐熱温度はPTFE・PFAと比べると劣るが耐蝕性、非粘着性に優れる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）：1200(W) x 590(D)mm ・トリプルラックタイプ（MiniLab-125）：1770(W) x 755(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または７”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。
0.5～５μｍの薄膜コーティングで高硬度を実現。刃物等耐磨耗性向上に最適
当社の高機能表面処理 セラミックコーティングは0.5～５μｍ の薄膜コーティングで高硬度を実現いたしました。刃物や金型の耐磨耗性向上に最適です。また、豊富な被膜と最新の高機能被膜のラインナップがあり、セラミック・アルミ等の非鉄にも処理実績があります。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
【3分で解説】蒸着についてのメリット・種類・多彩な機能性についてわかりやすく解説します！
薄膜を作るための材料である蒸着材料についてわかりやすく紹介！ 蒸着材料を知らいないという方へ蒸着材料の基本情報をまとめました。 こういうお悩みございませんか？ ■キズや汚れを防ぎたい… ■視界を良くしたい… ■水蒸気や酸素を通したくない… ■ホコリや花粉などの付着を防止したい… などのお困りの方必見です！ 【掲載項目】 1. 蒸着材料とは 2. 真空蒸着とは 3. 真空蒸着のメリット 4. 蒸着材料の種類 5. 薄膜が生み出す多彩な機能 6. 用途 7. よくある質問 など… ※詳しくは、当社ホームページのお問合せフォームよりお気軽にお問合せください。
自動車業界で大注目の電着塗装！薄膜で絶縁が可能なため、自動車部品に最適！
■□■～今なら技術資料を無料でダウンロードいただけます。～■□■ エレコートは、スプレー塗装・静電塗装・粉体塗装と比較して、塗装作業性や塗膜のエッジカバー性、 膜厚の均一性、平滑性など理想的とも言える電着塗装法を用いた表面処理技術です。 ポリイミド系樹脂を電着塗料化しているため、耐熱性・耐薬品性に優れています。絶縁性能としては平面部１０ミクロンで約１０００ Vの耐電圧を実現。 薄膜で絶縁できるため、部品の小型化が可能で、薄膜のため熱がこもりにくいので、自動車部品等へのお引き合いが急増しております。 【このようなお困りの方必見】 ■複雑な形状品を薄膜で絶縁したい ■効率的な熱放出を実現したい ■製品のダウンサイジングをしたい ■放熱・絶縁性能を維持しつつコストダウンを図りたい ■絶縁したいが熱がこもってしまう □■□～今なら技術資料を無料でダウンロードいただけます。～□■□ ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくは直接お問い合わせください。
素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中！各種表面処理薄膜コーティング法を掲載！試作から生産案件まで対応
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 機能性薄膜をご検討の際は、お気軽にお声掛けください！ 柔軟な対応と35年以上の実績をもとに、お客様のご要望にお応えします！ また、本資料では各コーティング法の特徴の他、コーティング事例やパターン形成についても掲載しています。 ご興味のある方は資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
受託加工専業30年を超える実績！技術の向上で、更なるイノベーションへ！
東邦化研株式会社では、表面処理に最適なイオンプレーティング（PVD）・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。 特に導電性・絶縁性等の機能性膜に重点を置き、試作・開発・研究・大量生産・小ロット生産までの、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えております。 お見積りから加工まで、迅速・確実な対応を心がけ、且つリードタイムの短縮に貢献します。 【事業内容】 ■イオンプレーティングと真空蒸着による薄膜の受託加工サービス (機能性膜の作製、表面改質、薄膜加工全般の受託請負) 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
