媒体塗布装置(DT-1104)
最大3.5inchのディスク25枚を同時にディップコート。専用冶具を使用して一度25枚同時に把持します。
本装置は、ディスクやウエハーに、塗布液のフィルタリング循環機構を備えたディップコーティング装置です。冶具を使用して一度に大量のディスクをディップコート(ディップコーティング)できます。また、少量のディップコート液のテストができるサブタンクを併設しています。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター装置です。
- 企業:株式会社SDI 京都本社
- 価格:500万円 ~ 1000万円