更新日： 集計期間:2025年04月16日～2025年05月13日
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中央に貫通孔を配置、透過タイプ顕微鏡にも使用可能です。
顕微鏡用ヒートステージ PH133型は顕微鏡用の極薄セラミックヒータステージです。プレートの熱容量も小さいので、周辺への熱影響が少なく、中央に貫通孔を配置、透過タイプ顕微鏡にも使用可能です。プレートはアルミ合金、白アルマイト処理、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。OME対応いたします。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、 オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、 最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。 【特徴】 ○1軸および3軸バージョン ○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 （オープンループは～240μm/2.4mrad） ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○センター開口部66 x 66mm ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対物レンズ 精密位置決めステージ 充実した機能・高性能なPI社の対物レンズピエゾステージ
30年以上前から提供していますPI社対物ピエゾステージは、 世界中のお客様にご使用されています。 今回、装置構造を見直し、以前より高剛性で、ロングレンジ駆動を可能にしました。 また扱いやすさも向上させた作りになっております。 【特長】 ・ストローク：100µm、400µm、800µm ・静電容量センサー内蔵 ・高剛性によりハイダイナミクス動作にも最適 ・ケーブルの柔軟性 ・幅広い設置方法 ※新デジタルコントローラとの併用でより高精度に！ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
最大2 200mmのロングストロークへ！大型・重量物にも対応します
『PA180S シリーズ (カバー付)』は、リニアスライドガイドを用いた 高精度・高剛性・高耐荷重タイプのステッピングモータステージです。 精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・高速移動が可能。 最大2 200mmのロングストロークを備えるなど、現場のニーズに幅広くお応えします。 【特長】 ■高精度位置決め ■高剛性・高耐荷重 ■ユーザビリティ ■異物侵入防止・安全性向上 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
レーザー光軸やレンズの調心に最適！この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超超精密位置決めが可能です！XYZΘの組合せも自在！
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
高負荷（500Kg）対応！コントローラ内蔵スタンドアローンユニット
『X-LRT-EC、-E、-Cシリーズ』は、ストローク長1500mmまでの バリエーションがある精密電動リニアステージです。 駆動ネジピッチのバリエーションにより最大推力は700N（70kg）。 また、耐荷重1000N（100kg）の高剛性で、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■耐荷重1000N（100kg）の高剛性 ■ストローク長1500mmまでのバリエーション ■駆動ネジピッチのバリエーションにより最大推力700N（70kg） ■コントローラ内蔵スタンドアローンユニット ■他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コントローラ・ドライバー内蔵！他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能
『X-LSQシリーズ』は、最高速度1000mm/sの速さと 最大推力100Nの力強さをもつ精密電動リニアステージです。 ストローク長は75、150、300、450、600mmで、 負荷容量（耐荷重）は最大20kgの製品。 また、ロータリエンコーダ内蔵タイプの「X-LSQ-Eシリーズ」も ご用意しております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高速度1000mm/sの速さと最大推力100Nの力強さ ■コントローラ内蔵 ■他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
コントローラ・ドライバー内蔵！推力制御モードにより推力の調整が可能
『X-DMQ-AEシリーズ』は、エンコーダ（リニアアナログ式） 分解能が1nmの精密電動リニアステージです。 200nmの分解能リニアエンコーダを内蔵しており、 フルクローズドループ制御による高精度位置制御が可能。 振動検査、材料特性解析などの用途にご使用いただけます。 【特長】 ■ストローク長12mm、精度4μm ■最大推力15.5 N、連続推力12N ■推力制御モードにより推力の調整が可能 ■フルストローク25Hz、最高速度1400mm/s ■コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。
Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ３軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能･低ノイズ（3mVP-P）のため高い分解能が実現できます。 特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。 【ラインナップ】 ○対物レンズフォーカシングアクチュエーター ○高剛性オリエンテーションフリーステージ ○高剛性薄型高進直性ステージ（X X-Yステージ） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵によるフルクローズドループ制御！
『X-LDQ-AEシリーズ』は、最高分解能（最少移動単位）50nmの 精密電動リニアステージです。 画像解析等低振動搬送用途、高速・高精度搬送用途などに好適。 また、コントローラを内蔵しており、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵による フルクローズドループ制御、高速高精度位置制御 ■ストローク長75、150、300、450、600及び1000mm、最大推力40N ■繰り返し精度：＜0.3μm ■位置決め精度：2.5μm ■最高速度：1500mm/s ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コントローラ・ドライバー内蔵！高速・高精度搬送などの用途に好適
『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は＜s1nm。 また、最大中心荷重は120N（約12Kg）で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm＜0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度：＜1μm ■最高速度：1200mm/s ■最大加速度：3.5G ■コントローラ内蔵 ■他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適
全高を低くした一体型XYθの3軸アライメントステージで、小型液晶パネルのアライメント、 評価、接合以外に電子部品の評価、接合、画像処理装置・各種検査装置用の位置決めに最適です。 【製品ラインアップ】 ●自動XYθステージ『YRAシリーズ』
