更新日： 集計期間:2025年04月16日～2025年05月13日
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電子基板、電子部品、精密エッチング、半導体ウェハなどの検査に好適！
当製品は、EasyInspector2/DeepSkyと組み合わせて使用可能な 画像検査用のXYZ軸ステージです。 電子部品や精密エッチングなど目視では確認しづらい細かな 検査等で使用可能。 多数の検査ポイントを効率的に設定でき、オートフォーカスにも 対応しています。 【特長】 ■多数の検査ポイントを効率よく設定できる ■検査開始前のアラインメント作業も簡単 ■オートフォーカス機能により、常に鮮明な画像で検査を実行 ■撮像した画像を保存可能。ポイントごとのOK/NGをCSVデータとして保存可能 ■検査の条件により様々な照明、カメラの取り付けが可能 ■XYZの調整幅が広い為、検査対象の幅が広がる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
位置決め精度を追求！ストッパー不要で微動なし。高精度加工を支えるステージ。
精密な機械加工において、高い位置決め精度と安定した固定は不可欠です。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、加工精度を阻害する要因となっていました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高精度な加工を実現します。 【活用シーン】 - 高精度な部品加工 - 検査工程における精密な位置決め - 長時間固定が必要な作業 - 限られたスペースでの作業 - 複雑な形状の加工 【導入の効果】 セルフロックステージ SLXシリーズを導入することで、加工精度向上、作業効率アップ、作業時間の短縮、不良品の削減など、様々なメリットが期待できます。
高精度部品加工を支える、ストッパー不要のロングストロークステージ。
自動車製造における検査工程では、精密な位置決めと安定した固定が求められます。従来のアリ溝式ステージでは、手動ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、検査精度に影響を与える可能性がありました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高精度な検査を可能にするアリ溝式ステージです。 【活用シーン】 - 自動車部品の寸法検査 - エンジン部品の表面検査 - 検査工程における精密な位置決め - 長時間固定が必要な検査 【導入の効果】 - 検査精度の向上 - 検査時間の短縮 - 作業効率の改善 - 人為的なミス削減 - 検査結果の信頼性向上
位置決め精度が求められる半導体製造に最適！ストッパー不要で微動なく固定。
半導体製造において、高精度な位置決めは欠かせません。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーによる微動や位置ずれが発生し、作業効率の低下や製品不良のリスクがありました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のロック機構により、止めた位置から微動せず、高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 - 半導体製造におけるウェハ搬送や検査工程 - 精密部品の加工や組立工程 - マイクロデバイスの製造工程 - 研究開発における精密位置決め - 自動化システムにおける高精度な位置制御 【導入の効果】 - 位置決め精度向上による製品不良率の低減 - ストッパー操作の省略による作業時間の短縮 - 微動による位置ずれ防止による作業効率向上 - 高精度な位置決めによる製品品質の向上 - 長時間安定した位置決めを実現
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
位置決め精度が求められる実験に！ストッパー不要で微動なく固定。
研究開発における高精度な実験や検査作業において、試料の位置決めは非常に重要です。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、ストッパー不要で確実な固定を実現。微動なく、高精度な位置決めを可能にするアリ溝式ステージです。 【活用シーン】 - 研究開発における精密な実験や検査 - 微細加工や組立作業 - 光学顕微鏡や測定機器のステージ - 自動化システムにおける位置決め機構 - 長時間安定した位置決めが必要な用途 【導入の効果】 - 位置決め精度が向上し、実験結果の信頼性が高まります。 - ストッパー操作が不要になり、作業効率が向上します。 - 微動や位置ずれによるミスを防ぎ、作業の安全性を高めます。 - スタイリッシュなデザインで、実験スペースをスッキリと見せることができます。
ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転も可能！ 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド Hybrid Hexapod 。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
位置決め精度が格段に向上！ストッパー不要で微動なし！
光学機器の精密な位置決め調整に最適な、アリ溝式ステージ『セルフロックステージ SLXシリーズ』をご紹介します。従来のステージでは、ストッパーやクランプ操作による微動や位置ずれが発生し、高精度な調整が難しいという課題がありました。SLXシリーズは、特許取得のセルフロック機構を搭載することで、これらの課題を解決し、高い位置決め精度を実現します。 【活用シーン】 - 光学顕微鏡、画像認識システム、レーザー加工機などの精密機器の調整 - 高精度な位置決めが求められる検査工程 - 長時間安定した位置決めが必要な実験や測定 - 限られたスペースでの設置が必要な場合 【導入の効果】 セルフロック機構により、微動や位置ずれを防止することで、高精度な位置決めを実現します。これにより、製品の品質向上、検査時間の短縮、作業効率の向上に貢献します。また、ストッパー不要のため、操作が簡単になり、作業者の負担軽減にも繋がります。
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
世界最小クラスの超小型マイクロポジショナーステージ
物理実験や光学システムでの直線移動用のシンプルなアジャスターを備えた超小型マイクロポジショナーです。 オプションとアクセサリーが豊富で、ポストマウント、ファイバーホルダー、低磁性、真空対応、ローレットノブアジャスター付きも可能。
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
ラックピニオンステージや粗微動ステージなど、多彩なラインアップをご紹介
当カタログでは、機械要素部品である「ステージ」について 多数掲載しております。 移動ガイドはアリ溝方式を採用した小型X軸ラックピニオンステージの 「TAR-X」をはじめに、粗動・微動ができる回転ステージ「TKSP/TAKS」、 微動送りにねじを使用したXY軸ねじ送りステージ「TAS-XY」など 豊富なラインアップをご用意。 製品選定の際に大変便利な一冊ですので、ぜひご一読ください。 【掲載製品(一部)】 ■ラックピニオンステージ ■粗微動ステージ ■ねじ送りステージ ■ブロックステージ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
BORA ヘキサポッドは、0.1 µm の分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF 平行運動学システムです。 BORA ヘキサポッドは、解像度、精度、安定性、サイズの点で光学およびナノテクノロジーの最も厳しい基準を満たしています。 その寸法により、例えばシンクロトロンビームラインでのアプリケーション用のゴニオメーターの先端や、宇宙光学系の位置合わせと校正を行う光学地上支援装置など、狭い環境での統合が可能になります。 BORA ヘキサポッドは、垂直、水平、逆さなど、あらゆる向きで使用できます。
科学技術と高い評価を兼ね備えた先進ブランド減速機とモーターの専門製造工場です
サーボ、ステップ、直流モーターなどの伝動システムに合わせて回転速度を低下させ、また出力トルクを高めて負荷慣性質量を低下させることができます。動力をアプリケーションに完全に伝達すると共に、小サイズ、高精度、低バックラッシ、高効率、高出力回転速度、高出力トルク、スムーズな運転及び低騒音などの特性を備えています。 ※詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
