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高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能 6DOF システムです。 最大 400 kg のペイロードをわずか 0.1 µm の分解能で位置決めできるように設計された ZONDA ヘキサポッドは、XY で 400 mm、Z で 300 mm、および Rx、Ry、Rz の 3 つの回転で 40 ° の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニア アブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。
高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
Kuban は、高精度かつ 1.5 µrad の分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定した 6DOF システムです。 高分解能アクチュエータと高精度球面ジョイントの構成と統合により、最大 500 kg の耐荷重で分解能と再現性の高いパフォーマンスを実現できます。
1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
JORAN ヘキサポッドは、1500kg耐荷重で0.5 µrad の角度分解能で要素を位置決めおよび調整するように設計された高精度システムです。 特にアクチュエーター、球面ジョイント、天然花崗岩プラットフォームは、優れた安定性を保証し、長期にわたって位置決めの品質を保証します。 欧州シンクロトロン ESRF と共同で開発されたもので、シンクロトロン ビームライン上のミラーや真空チャンバーをサポートするのに最適です。 必要に応じて、花崗岩のプラットフォームを鋼製プラットフォームに置き換えることもできます。
コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
NOTUS は、コンパクトで構造的に堅牢なモーション ジェネレーターです。 Notus P の耐荷重は 200 kg です。 Notus V ヘキサポッドは、耐荷重が 100 kg に制限された高速バージョン です。 これらのヘキサポッドは、研究室や医療 、航空宇宙、自動運転車用センサーのアプリケーションに最適です。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【型番】 XC4-25CM, XC4-25SM, XC4-40CM, XC4-40SM, XC4-60CM, XC4-60SM 【製品紹介】 ・XYZ軸の移動により3軸の位置決め調整が正確にできます。 ・移動ガイドにすり合わせ式（25CN, 25SM, 40CM, 40SM）、V溝レールとクロスローラ（60CM, 60SM）を採用しており、スムーズに微動調整ができます。 ・CM, SMは、微動調整のマイクロメータヘッドの取付位置が、それぞれ各辺の中央（センタ）, 横（サイド）にあることを示します。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、1軸～5軸の精密ステージ製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
V-P01は、リニアモータ駆動による高精度・高安定性を誇るXYステージです。 最大100Nの負荷に対応し、高速・高加速度での移動を実現。 ±1µmの位置精度と0.1µmの最小インクリメンタルモーションで、AOI自動光学検査やスキャニング用途にも適しています。
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。
最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。
24ビットA/D搭載でナノ分解能を実現、最大12chまで並列制御可能
E-625は、低電圧ピエゾアクチュエータ用に設計された高性能なサーボコントローラです。 最大12台まで並列ネットワークが可能で、多軸制御システムにも柔軟に対応。 24ビットの高分解能A/Dと20ビットD/Aコンバータにより、高精度な位置検出と滑らかな動作を実現します。 センサーは静電容量または歪みゲージ（SGS）から選択可能。 PI独自のGCSコマンド体系、LabVIEW・DLL対応ソフトウェア、波形メモリ機能も備え、装置開発や実験用途に最適です。
最大速度120mm/s、10nm分解能で高速・高精度走査を実現
U-781は、PILine(R)ピエゾリニアモータを採用したXYステージで、自己保持機能による安定性と潤滑不要の静音設計が特長です。 コンパクトかつフラットな設計で、顕微鏡下へのサンプルアクセスを妨げません。 LabVIEWやMATLAB、µManagerなど各種ソフトウェアに対応し、装置組込みや自動化に柔軟に対応できます。 サンプルホルダやZステージなどのオプションも豊富です。
高剛性＆高精度、真空にも対応可能な小型6軸ステージ
H-811.I2は、全6軸において高精度な位置決めが可能な小型ヘキサポッドです。 XY±17mm、Z±6.5mmの移動範囲に加え、±21°の回転制御が可能。 パラレルキネマティック設計により、干渉や誤差が最小限に抑えられ、安定した動作を実現します。 特に真空や制限スペース下でも確実な動作が可能で、再現性や剛性を求める精密分野での信頼性に優れます。 最大5kgまでの荷重に対応。
30kgの耐荷重＆剛性設計で高負荷アプリにも対応
H-825は、±0.1µmのZ軸再現性と高剛性設計により、半導体製造や光学調整分野における精密動作に対応します。 耐荷重は最大30kg、ブラシレスDCギアモータ駆動・アブソリュートロータリーエンコーダにより初期化動作不要で即座に稼働可能。 安定した高精度位置決めと姿勢制御を実現します。
PIヘキサポッド専用で、標準ソフトで直感的操作が容易
C-887.52Xは、ヘキサポッド制御に最適化された32bit PIDコントローラを内蔵し、1つのコマンドで6自由度の位置決めが可能。 EtherCAT・USB・RS-232などの多様な通信に対応し、アナログ／デジタルI/O、BNC端子も装備。 LabVIEWやWindows DLL、Linux用ドライバも提供され、開発環境に応じた柔軟な制御が可能。 リファレンススイッチやストール検知機能も備え、安全性にも配慮されています。
ボルトを締めたり緩めたりする作業が不要！ゲージの位置変更が楽になった事例
プレスメーカーで使用している板ばねの高さ検査治具の改善事例を ご紹介いたします。 板ばねが変わりゲージの位置を変更する作業に手間取ることが課題でした。 そこで、ゲージをセミオーダーステージに取り付け。ボルトを緩めたり 締めたりする必要がなく、従来よりもゲージの位置変更が楽に できるようになりました。 【事例概要】 ■課題 ・板ばねが変わりゲージの位置を変更する作業に手間取る ■解決 ・ゲージの位置変更が楽になった ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
