更新日： 集計期間:2025年08月06日～2025年09月02日
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5nm分解能・200mm/sで高速・滑らかなサブミクロン動作を実現
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
