シート抵抗測定器・四探針プローバ
4探針法によるシート抵抗測定システムです
コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。
- 企業:雄山株式会社 東京支店
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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4探針法によるシート抵抗測定システムです
コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。
マニュアルプローバー
信頼性試験やデバイス特性評価用に最適な 8インチ対応のマニュアルプローバーです。 その他、6インチ、12インチ対応のマニュアルプローバーもラインナップしております。
ユーザーのあらゆる要望にも簡単に対応できます。
国内メーカーで初めて製品化した12“ウェハー対応セミオートプローバーです。
コストパフォーマンスに優れ、安全面にも考慮したハイパワー測定システム
当社では、『パワーデバイス評価用プローバー』を取り扱っています。 「TS150-HP/TS200-HP」は、10kV耐圧測定・250A(パルス)電流測定など、 パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバーです。 最大10kV耐圧仕様の300℃サーマルチャックシステムを搭載できます。 この他に、コストパフォーマンスに優れた「TS2000-DP」や、安全機構を 搭載した「TS2000-HP」もご用意しております。 【特長】 ■パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバー ■チップサイズから最大6インチウェハサイズまで対応(TS150-HP) ■チップサイズから最大8インチウェハサイズまで対応(TS200-HP) ■安全を考慮した測定環境を構築可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の測定方式を採用して、生産効率を大幅に向上させることに成功しました
NPB-600Aは、ダイシングされたLEDチップ(素子)を、光学・電気特性検査、及び外観画像検査する装置です。測定及び外観検査はもちろん、ウエハの交換も全て自動で行います。独自の測定方式を採用して、生産効率を大幅に向上させることに成功し、サイクルタイムはMax0.07秒/個を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
・直接サンプルに熱を与える温度勾配生成ユニット搭載 ・顕微赤外カメラユニット搭載
簡易型室温プローバーにサンプルの一部に熱を加え温度勾配を生成できるユニット、及びに観察のため顕微赤外カメラユニットを搭載した特注システム
高真空仕様の加熱マイクロプローバ!加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します!
『HMP-100』は、排気系により<10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の 加熱マイクロプローバです。加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します。TRIAXコネクタを採用することにより 1pA以下の電気測定が可能です。 【特長】 ■高真空仕様 排気系により<10^-4Paでの使用可能 ■加熱温度 最大500℃対応 10mm形状のサンプル加熱対応 ■低電流測定 TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IV/CV、パルスドIV、1/fノイズ、RF測定用フルオートオプションWaferWallet搭載可能300mmオート・プローバ
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した300mmオート・プローバー。フルオート・プローバーにアップグレード可能なWaferWalletオプション搭載可能機種 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
小型軽量!実体顕微鏡標準スタンドが使用できるマニュアルプローバ
『LP-1』は、位置合わせが迅速に行える1インチタイプの マニュアルプローバです。 オプションにより、実体顕微鏡、トライアキシャルチャック、 ホットチャックも装着することができます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■1インチサイズウエハープロービング ■位置合わせが迅速に行える ■針圧のオーバードラブ量の設定ができる ■大きさ、重さともコンパクトなため装置の移動が簡単 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
初期導入費用が安価で簡易に測定できる小型のマニュアルプローバです ポジショナ、顕微鏡、試料台から構成されます
雄山株式会社より「小型A3プローバ」のご案内です。 チップレベルからΦ50mmウェハにまで対応した、シンプルなA3サイズの小型マニュアルプローバです。スライド式のケースを閉めることで簡易的にシールド構造になります。顕微鏡とワーク位置が一定のためケースの開け閉めで視野が変わることがありません。 半導体の電気特性評価に最適です。
fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバ
■微小電流測定 ・ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ・低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ・外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作が可能 ※半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。 ■主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 ・キーサイト・テクノロジー (B1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ・EasyEXPERT) ・ケースレーインスツルメンツ (ACS(測定ソフト)搭載システムおよび測定器) ※その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能 ■多彩なオプション・カスタマイズ対応 ・ホットチャック(+40℃~+200℃)を用いた温度依存特性の評価に対応 ・プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能 ・使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能