MEMSファンドリーサービス (ウエハ受託加工サービス)
3次元実装サービス(TSV技術等による実装サービス)
MEMSの部分工程請負、全体開発試作から量産ファンダリまで幅広く対応します。 2インチや異型の基板から12インチ(300mm)のMEMSラインのネットワークによりあらゆるご要望に対応。 1枚からの露光、エッチング受託加工、成膜サービス等もお気軽にご相談ください。 本格的なMEMS専用ラインでのファンドリーサービスです。 【サービス一覧】 ・PZT成膜サービス スパッタ法で4,5,6,8インチに対応 ・Siディープエッチングサービス 2~12インチに対応します ・100℃以下の低温CVD膜付けサービス 2~6インチに対応します。 ・8インチ, 12インチMEMSファンドリーサービス 大型チップ向けMEMS製造が可能 ※詳細はPDFをダウンロード下さい。
- 企業:日本MEMS株式会社
- 価格:応相談