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回路図にない寄生インピーダンスもプロなら見抜くことができます！
★★しるとくレポ 知って得するお役立ち情報★★ 当レポートでは、回路図上には見えない寄生成分の他にも重要な 見えない要素「インピーダンス」についてご紹介します。 インピーダンスとは交流抵抗のことで、通常は単線50Ω、差動100Ωに 規定されていることが多いです。 高周波回路の設計ではインピーダンスは重大な問題になります。 回路図にない寄生インピーダンスもプロなら見抜くことができます。 興味をお持ちの方は是非一度ご連絡下さい。 【掲載内容】 ■LT-spiceで作成した回路図の一例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XRR：X-ray Reflectivity
XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 （2～300nm 程度） ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下） ・非破壊で分析が可能 ・約10×20mm の広い範囲の平均情報を得ることが可能
試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手法
SEM装置内で電子線を照射することで、試料内で正孔電子対が発生します。 通常は再結合して消滅しますが、空乏層など内部電界を有する領域で正孔電子対が生じた場合はキャリアが内部電界でドリフトされることで起電流として外部に取り出すことができます。 この起電流をEBIC（Electron Beam Induced Current）と呼び、SEM像と併せて取得することでpn接合の位置や空乏層の広がりを可視化することが可能です。 ・ｐｎ接合部や結晶欠陥(転位、積層欠陥など)の評価が可能。 ・SEM像と重ねることで、接合や結晶欠陥の位置を特定可能。
DSC（示差走査熱量）測定による熱物性評価
二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC（示差走査熱量測定法）を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度（Tg）を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました（図1）。これは昇温加熱により樹脂の重合（硬化）が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラス転移に起因するベースラインの吸熱側へのシフトが確認され、Tg は約116℃でした（図2）。
SiC中積層欠陥の検出事例
SiCはパワーデバイス用途向けなどに近年盛んに研究・利用が進んでいます。SiCは種々のポリタイプを持つため、積層配置が乱雑になる積層欠陥などが容易に発生するという問題を持ちます。この欠陥の検出法の一つとして、試料を光で刺激した際に放出される光を分析するフォトルミネッセンス（PL）法があります。 マッピング測定を行い欠陥起因の発光を検出した事例を紹介します。
固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能
通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。 微量成分を調べたい試料の中には、微小チップやワイヤー状試料など、通常では分析には適さない形状のものがあります（図1）。このような試料では固定を行った後に分析を行います（図2）。他にも試料の断面や側面、特殊な形状の試料においても前処理を施すことで分析が可能となる場合があります。
SRA：広がり抵抗測定法
SR測定は試料を斜め研磨して、その試料面に2探針を移動させながら接触させ、直下の電気抵抗を測定します。 ある測定点における試料表面からの深さは三角関数の定義より、試料の斜め研磨角度をθとした時のSinθの値（ベベルアングル) とベベルエッジからその測定点までの距離の積より求められます。 尚、ベベルエッジから距離は【X-step 】×【測定点数】となります。
水素水などの溶液中水素濃度測定が可能です
水素水は体内の活性酸素を除去できると言われており、抗酸化作用に注目が集まっています。ただし、水に溶ける水素量はわずかであり、空気中に放置すると徐々に水素が抜けてしまうことや、水素は非常に小さい分子であるため、保存容器によっては長期間の保管ができないことが知られています。そのため、保管容器や保管方法が重要とされています。本事例では、水素水を紙コップに移したものとパウチ型の保管容器でどれだけ水素が抜けているかをGC（TCD）で確認した結果を示します。
シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価
シリコン酸化膜はMOSデバイスやリチウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。 放射光を用いたXAFS測定では試料表面から数十nmの深さの情報を検出するため、非破壊でバルク・界面における構造および結合状態を解析することが可能です。 本資料ではXAFSを用いてシリコン酸化膜の中間酸化物の有無を調査した事例を紹介します。
発光寿命からSiCのキャリアライフタイムについて知見が得られます
キャリアライフタイムとは、電子デバイスの動作の際に生じる過剰キャリアの内、少数キャリアが1/eになるまでの時間です。これを適切に制御することがデバイスの電気特性をコントロールする上で重要です。 一方、発光寿命とは試料からの発光強度が1/eになるまでの時間を示し、発光減衰曲線から算出可能です。少数キャリアの一部は再結合時に発光するため、発光寿命測定から間接的にキャリアライフタイムの評価が可能です。本資料では4H-SiCエピ基板のキャリアライフタイム評価の事例を紹介します。 測定法：蛍光寿命測定 製品分野：パワーデバイス、LSI・メモリ、電子部品 分析目的：故障解析・不良解析、製品調査、キャリアライフタイム、プロセス評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
15、30、60minの3段階切り替え！ゆとりのある水圧管理が可能な測定器
『FJN-501C』は、直結給水、道路網整備・強化へのフィードバックデータとしても活用ができる自記録水圧測定器です。 完全防水の全天候型。 安定した水圧の確保・水圧変動を記録することで、適正水圧把握・給水不良・減圧の必要性・漏水は発生しないかなど、データを収集することによって迅速な対応と対策が立てられ、ゆとりのある水圧管理が行えます。 【特長】 ■15、30、60minの3段階切り替え ■LEDの点滅の仕方で、時計が正常に動作しているかを確認できる ■チャート紙の取り付けは簡単なワンタッチ式 ■完全防水の全天候型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
何台も設置しなければならない多点の観測に最適。
小型・軽量の風向風速センサーと長期間連続記録のロガーの組み合わせ。
受感部は熱電対を使用しているため、高精度、高感度、高信頼性。
経済性にすぐれたガラスドーム付き日射センサーです。
水位測定のセンサー感部には、チタン製の半導体感圧素子を使用して、水圧を測定して水深に換算しています。
***特長*** 優れた動作温度範囲 KADEC21シリーズは、－25～＋80℃まで温度環境に対応。 低消費電力動作による長期電池動作を実現 TRON OSによる徹底した低消費動作化をはかり、内蔵電池のみで約300日間以上の連続測定を実現。※1電池残量が、ひと目でわかる電池残量レベルメーター機能搭載。 水位・雨量同時記録で、水位変動のデータ処理に強い 瞬時水位・雨量を同時記録することにより、降雨による水位変動が簡潔に判断可能。ダムや河川などの水位測定に効果を発揮します。 波浪を平均化処理（波消し機能） 水位変化の多い河川などでは、水位を瞬時値で測定しますと正確なデータは得られないことがあります。 LCD表示、3ボタンによる簡単操作 直感的に操作できるUP／DOWN／ENTERの3ボタンだけで簡単メニュー操作。 CFカードにデータ転送（CFカードタイプ） CFカードにデータ転送をでき、設置現場で簡単にデータ回収できます。 鉄、ステンレスの他にチタンタイプの水位計セット30ｍも選択可能（CFカードのみ）
