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水銀プローブにより電極の形成が不要！R&Dにおける開発時間の短縮、Lowコスト化を提供
『MCV-530/530L/2200/2500』は、半導体シリコンウェハーの電気特性や MOSデバイスの酸化膜等の特性評価を可能にする装置です。 従来ではウェハーにゲート電極としてPoly-SiやAl等を蒸着し、MOS構造・ ショットキー構造形成後にCV/IV特性評価を行っておりました。 当製品は、装置自身がゲート電極を持つため、メタルゲート作成なしに 酸化膜やウェハーの電気特性を得ることが可能。プロセスモニタリングによる 素早いフィードバックやR&Dにおける開発時間の短縮、Lowコスト化を 提供します。 【特長】 ■水銀プローブにより電極の形成が不要 ■抜群の再現性 ・ショットキー：0.3％(1σ）／MOS：0.1％(1σ） ■ウェハー面内のマッピング可 ■新開発水銀交換機構により安全かつ容易な水銀交換が可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
トレンチ深さ測定装置
パワーデバイスのディープトレンチやTSV形状、DRAMのキャパシタートレンチの深さ、CD測定、リセス測定を非接触で測定。独自技術MBIR（Model Based Infrared)により高アスペクト比のトレンチの測定が可能。また、エピ膜のドープ濃度の縦方向プロファイルの測定にも対応。
薄膜膜厚・ヤング率測定装置
非接触、非破壊でウェハー基板上の薄膜膜厚、膜のヤング率、 ポアソン比を測定することができる。
不良及び結晶欠陥の解析に有効！幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備
『DLS-83D/1000』は、温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能な バルク内欠陥・界面準位測定装置です。 「DLS-1000」は、10^8cm3レベルのバルク内欠陥、界面準位の高感度な 測定に対応。ライブラリーを標準装備しておりますので解析が容易に行えます。 高感度アナログ／デジタル（測定はアナログ、データ処理はデジタル） ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーター フレンドリーなソフトを装備しています。 【特長】 ■高感度な汚染検出が可能（2x10^8atoms/cm3） ■幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備 ■温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能 ■世界で100台以上の豊富な納入実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能
『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。 ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs、GaN、InP等) epiウエハを非接触・破壊にてシート抵抗を測定します。 【特長】 ■探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を解決 ■多数枚を迅速に計測処理する事が可能 ■0.035～3200ohm／sq.という広い範囲で優れた測定直線性 ■計測データを三次元グラフィックマップとしてPCモニター上で確認可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
表面とナノ構造を測定する機能！ミリメートルから原子レベルまでをカバーします
走査電子顕微鏡(SEM)と原子間力顕微鏡(AFM)の複合システムをご紹介します。 SEMのズーム機能を使い、AFMチップを対象領域に直接移動可能。 表面の形状や、機械・電気・磁気特性に関する情報をナノメートル分解能で 入手できます。 AFMは、MerlinシリーズとCrossbeamシリーズにご利用でき、既存のシステムを 簡単なドア交換で更新できます。 【特長】 ■SEMとFIBはカンチレバーチップで交差 ■3つの全手法の複合測定を空間内・サンプル上の完全に同じ点で実行可能 ■単一原子の3D分解能を実現するよう設計 ■5mmの最小SEM作動距離を維持しながら、SEMで0°～85°の視野角を使用可能 ■FIBによるin-situのチップ先鋭化をサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IR反射率測定ヘッドを使用可能！高スループットのエピ膜厚測定を実現した測定装置
『EIR-2500』は、FTIR機能と共に、赤外分光反射率計を備えた独自の エピ膜厚測定装置です。 高スループットのエピ膜厚測定を実現し、適用されるSEMI/CE規格に完全に 準拠しています。 また、EIR製品シリーズは、高性能で信頼性の高い電子機器に基づいており、 装置の稼働時間を向上してメンテナンスの必要性を減らします。 【特長】 ■ウェハーサイズ：4～12インチ ■Si, SOI, SiC, SiGe, III Vなど ■FTIR機能 ■エピ膜厚を高精度測定 ■遷移領域の膜厚測定 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【無料テストあり】風量を瞬時に測定！正確な測定値が得られる風量測定装置
■無料テスト可能です 空気清浄機、集塵機、エアコン、送風機、冷却用小型ファン等の風量が正しく出るかテストしたい方は自社テストセンターにてテスト可能です。条件等はお問い合わせください。 『ウィンドウォッチャーχ(WWA)』は、JIS A1431の測定方法をベース にした吸引式測定装置を用い、吹出し口や吸込み口の風量を瞬時に、しかも正確に計測できる装置です。 集風フードの静圧とフード外の静圧が等しくなるように、吸引ファンの運転周波数を自動制御させ、吹出し口の風量を吸引ファンの下流に設置した校正済みの風量計で測定します。 風量計には整流格子を内蔵し設置特性に優れた「エアメジャー」を採用しています。 【特長】 ■アナログ出力も用意 ■測定誤差が少なく再現性に優れる ■フレキシブルダクト採用 ■吸い込み口の風量測定も可能 ■NETIS登録番号：KT-240015-A ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
25Nmまで測定範囲に対応！高トルク電動ドライバーのトルク管理用！合否判定、平均値計算、リアルタイムデータ出力が可能！
『KTMシリーズ』は電動ドライバー、トルクレンチ、トルクドライバーのトルクチェックが行えて、トルク管理にもご使用出来ます。 また上限下限の設定で測定値の合否判定、測定器の数値データを表示が行えるトルク測定器です。 検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図を発行、校正サポートも対応しております。 「KTM-250」は5N・m～25N・mまで測定範囲となっており、高トルクツールにも対応しております。 小トルクツール用の「KTM-6/KTM-15」もご用意しており、最小トルクのが0.20cN・mまでと、極小トルクのツールも測定できます。 【特長】 ＜KTM-250＞ ■連続作業が続く各種部品のモーメント管理にも好適 ■上限下限の設定で測定値の合否判定が可能 ＜KTM-6/KTM-15/KTM-150＞ ■上限下限の設定で測定値の合否判定が可能 ■バッテリー駆動で持ち運びが便利 <共通仕様> ■平均値計算 ■オートパワーオフ ■USB出力 ■オートゼロクリア ■データメモリ 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バッテリー駆動で持ち運びが便利！連続作業が続く各種部品のモーメント管理などに
『KTMシリーズ』は電動ドライバー、トルクレンチ、トルクドライバーのトルクチェックが行えて、トルク管理にもご使用出来ます。 また上限下限の設定で測定値の合否判定が行えるトルク測定器です。 全製品に検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図を発行、校正サポートも対応しております。 「KTM-6/KTM-15」は、30データまでの想定値の最大値・最小値・平均値を表示、データ出力も可能となっております。 高トルクツール用の「KTM-150/KTM-250」もご用意しており、最大の測定範囲が25Nmまでと、高トルクのツールも測定できます。 【特長】 ＜KTM-6/KTM-15/KTM-150＞ ■上限下限の設定で測定値の合否判定が可能 ■バッテリー駆動で持ち運びが便利 ＜KTM-250＞ ■連続作業が続く各種部品のモーメント管理にも好適 ■上限下限の設定で測定値の合否判定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電動ドライバーのトルク管理用！合否判定、平均値計算、リアルタイムデータ出力が可能
『KTMシリーズ』は電動ドライバー、トルクレンチ、トルクドライバーのトルクチェックが行えて、トルク管理にもご使用出来ます。 また上限下限の設定で測定値の合否判定が行えるトルク測定器です。 全製品に検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図を発行、校正サポートも対応しております。 「KTM-150」は、30データまでの想定値の最大値・最小値・平均値を表示、データ出力も可能となっております。 別売品の測定ジョイントで「5～15N・m」の範囲でトルク測定が行えます。 その他小トルク用測定器「KTM-15」最小トルクのが0.20cN・mまでと、極小トルクのツールも測定できます。 高トルク用測定器「KTM-250」は最大25N・mまでの高トルクに対応しております。 【特長】 ＜KTM-6/KTM-15/KTM-150＞ ■上限下限の設定で測定値の合否判定が可能 ■バッテリー駆動で持ち運びが便利 ＜KTM-250＞ ■連続作業が続く各種部品のモーメント管理にも好適 ■上限下限の設定で測定値の合否判定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
塗膜の硬さ及び付着強度評価試験器
塗装皮膜の硬さ及び付着強度（抵抗性、塑性変形、凝集破壊など）を既知の硬さの鉛筆の芯で引っかき、そのキズの入る程度によって塗膜を評価する試験器。 試験条件の均一化を図るため、各種機能を有しているので、使いやすく便利。 JIS K5600-5-4、ISO/DIS 15184、ASTM 3363に準拠
測定値に個人差が出にくい！簡便、迅速、正確で耐久性に定評があるデジタル式
『R-7500』は、デジタルタイプなので個人差が無く、 測定値のチェックができるテストハンマーです。 また、プリンタ内蔵で各種データの印字が可能。 粉塵の侵入を防ぐブリーザー機能の装備で、長期間の安定精度を保持します。 【特長】 ■デジタルタイプ ■プリンタ内蔵 ■各種データの印字が可能 ■粉塵の侵入を防ぐブリーザー機能装備 ■安定精度を長期間保持 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単な操作で4Kカメラによる工具寸法の高精度測定が行える装置や、円滑な切削が行える裏ザグリ工具をご紹介
当社は、2022年11月8日～13日まで「JIMTOF2022」へ出展いたします。 4Kカメラで高精度に工具の寸法を測定する『ジャストスコープ-RX』や 裏ザグリ工具の小径シリーズやOH付の新シリーズなど、当社のおすすめ製品を会場にてご覧いただけます。 【製品の特長】 『ジャストスコープ-RX』 ■0～135°の旋回が可能 ■高精細な撮影が可能な4Kカメラを採用 ■PC・モニターが標準付属。省スペース化が可能 『裏ザグリカッタ 小径バックファイヤー』 ■本体剛性向上により更に安定切削が可能 ■D3からD36まで新ラインナップ ■D10・D12タイプは、新4コーナーインサート採用により切削性向上 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
酸素透過性測定装置
ラブシンク インスツルメンツ株式会社は測定機機器と測定サービスの優れた提供者として医薬、食品、化粧品、包装、印刷、接着剤、自動車、石油化学、環境、生物学、新エネルギー、建設、航空、電子産業において、最も優れた、また完全な品質管理ソリューションを提供するべく努力しております。
