ウエハエッジ検査機 WEG3000
トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！
300mmウエハの外周エッジ部断面プロファイル形状検査とエッジ部全周囲の画像欠陥検査の自動検査機です。 エッジ欠陥個所をレビュー検査して画像ファイルできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
検査装置×株式会社アイティ・テック - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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ウエハエッジ検査機
計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！
ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
MEMSウエハチップ検査機
高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡
MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
ウエハBG・テラス検査機
オートアライメントと自動検査を ハイスループット1枚30秒で検査します
ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。 セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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- 価格：応相談
インライン用 表裏面外観検査装置
パネル製造ラインで表面・裏面のキズ欠陥を自動検査できるインライン用の基板外観検査機。
「表裏面外観検査装置」は、インライン用の基板外観検査機です。 検査基板の上下に取り付けて走行基板をセンサで検出してラインカメラで外観検査をします。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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- 価格：応相談
外観自動検査機 IMS-3000
洗浄後基板の異物検査やガラス基板の内部欠陥検査、透明電極パターンの測長検査などに最適
多様化する産業界の各種製品のパネル基板やフィルム、半導体部品の 微少欠陥を最新のラインセンサ外観検査システムで検査します。 最新の光アライアンス技術によりメカニカル・オプチカル・画像処理を融合し、 独自な高速/高精度検査機を提案します。 この外観検査機はミクロからマクロまでの検査ユニットを搭載して各種検査への 対応と、複合機能で検査とレビューや加工、調整などのユニットを目的に合わせて 構築することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
ウエハ欠陥自動検査機 WEG8000
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。 1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。 25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。
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チップ素子欠陥検査機
高精度なXYZオートステージです。
ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
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サファイア自動検査機
検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能
サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
パネル電極検査機
既存の製造ラインに取付て電極部の画像検査ができます。
パネル電極検査機は、パネル製造ラインで搬送基板のG電極線の断線/半断線を検査します。 搬送機にブリッジを立てて上部から2箇所、両側に高速ラインカメラと光学系で300mm/秒で動く大型パネルの電極線を5μm分解で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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タッチパネル用 ITO膜検査装置
PETフィルム上のITO膜を１μm分解で計測。画像オートフォーカス機能搭載した検査装置。
ＰＥＴフィルム上のＩＴＯ膜の外観検査装置です。 ハレーション光学系でＩＴＯ膜の有無を明瞭に観察でき、操作が簡単です。 指定座標への光学系移動と撮像・計測をシステム制御します。 画像オートフォーカ機能もあります。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
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高さ測定検査機
300mmφウエハ対応の顕微鏡式非接触高さ／段差／厚み測定機
ターゲットの左右ラインの画像検出とZ軸自動制御で半自動に高精度測定ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
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