オートフォーカス顕微鏡 LSAF1
単対物用のオートフォーカス顕微鏡です。 フォーカスステージつきでこのまま装置に取り付けるだけでAF顕微鏡となります。
特徴 1. 各種光学系に組込できるV型です。 2. ソフトで1μ以下の合焦精度でピントを自動制御します。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
顕微鏡×株式会社アイティ・テック - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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オートフォーカス顕微鏡 LSAF2
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。 電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。 検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
赤外顕微鏡
透過赤外光の照明調整でIR明視野・暗視野検査での検査ができます
半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。 TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
大型FPDパネル基板・大型ガラス基板の検査用 小型顕微鏡
FPDパネル検査を1μmずつ読みとる目視検査とモニター検査ができ検査機。
ＦＰＤパネル検査用の顕微鏡です。 ガラスステージ上にパネルを載せて手元ハンドルでＸＹにスライド移動と微動ハンドルで位置決めできます。 デジタルカウンタで移動量を１μmで読取、目視検査とモニター検査ができ検査画像のファイルもできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
大型ガラス基板の検査に 大型パネル顕微鏡
大型ガラス基板を検査する顕微鏡で移動量はデジタルカウンタに表示。手動型と電動型がございます。
大型基板を検査する検査用顕微鏡です。 大型基板をステージに載せて移動して顕微鏡検査が出来ます。 移動量をデジタルカウンタに表示して、線幅や位置測定ができます。 手動型はハーフナット式でフリー移動とハンドル微動式です。 電動型はステッピング駆動がリモートでできます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
微小スポット露光顕微鏡
微小領域に紫外光照射検査ができます。
微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
モジュール製品の顕微鏡検査に 測長顕微鏡
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
両面位置確認顕微鏡 DVM－400NEW
被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせズレ量を比較観察し、メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡。
被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせ、そのズレ量を比較観察し、 メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡です。 対物レンズは観察倍率50倍から1000倍まで5種類で多種多様な試料に対応できます。 NIR可視/赤外透過タイプ。 カメラ位置合成装置もあります。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
