更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
180度反転可能！全軸2Pステッピングモータ仕様のクリーンロボットをご紹介
『PR1000シリーズ』は、ハンドがステッピングモータ駆動によって 180度反転可能なリンク式シングルアームクリーンロボットです。 全軸2Pステッピングモータ仕様。 アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 また、回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■ハンドがステッピングモータ駆動によって180度反転可能 ■アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
