反応生成物対応 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MIシリーズ
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少!
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!! ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
- 企業:株式会社大阪真空機器製作所
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少!
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!! ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
低~超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大! ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い! ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。
腐食性ガスの排気に対応。 ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 大気突入に強い堅牢設計。
小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。 ご用途に合わせて排気速度200L/s~5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上!
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能! ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善! ■IP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用可能! ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能!
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる次世代型ターボ分子ポンプ!多くの主要な科学機器に標準で装着できます!
真空ポンプ技術の世界的リーダー、エドワーズが新規開発した、世代型ターボ分子ポンプをご紹介いたします。既に多大な信頼を獲得してきたEXTおよびSTPシリーズに基づく20年を超える経験をもとに設計した「nEXT85」は、先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる製品です。「nEXT85」は、性能が強化されただけでなく、現場でのメンテナンスやデータログの確認等nEXTシリーズと同一のサービスおよび運転機能を利用することが可能ターボ分子ポンプです。 【特長】 ■卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のローターデザイン ■多様なフィールドで実証された高い信頼性 ■多くの主要な科学機器に標準で装着、10万台以上の納入実績 ■複雑な加工や大掛かりな分解を必要とせず、エンドユーザーによる短時間での整備が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
磁気軸受け制御方式採用!省スペース、低振動を実現したコントロールユニット一体型。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-iX455」は、DC48V電源のみで駆動可能なため、 従来のタック型コントロールユニット及び接続ケーブルが不要です。 また、ディスプレイユニット、電源ユニットなどオプション製品も充実。 用途にあわせて最適な製品携帯を選択することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。
1M Gray の放射線環境下で操作が可能なターボ分子ポンプです。
放射線の影響を受ける全ての電子部品を交換し、高い放射線環境下で使用可能 な構造にしました。 各種排気速度を取り揃え、ケーブル長も最長200mまで可能です。 セラミックベアリングを使用し、ベアリング交換も可能です。