超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU
超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
- 企業:株式会社大阪真空機器製作所
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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超高真空仕様ターボ分子ポンプ
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ
ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)!
高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。
放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ!
放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設(J-PARC)などに納入!
新製品TGkine4200M発売!!余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上!
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売!!このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展2015へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine3シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社HPにてご確認ください。(当社HPのリンク) この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能! ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善! ■IP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用可能! ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
取付姿勢は自在!コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ!
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子/複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧(標準で最大1、000Pa) ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クラス最高レベルの排気速度!設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。
アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。
アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・モニタリングが可能。 かつてない低振動を実現しました。
アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホより動作設定・モニタリングが可能。 業界最小ノイズ(41dB)のポンプです。
全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現! 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現! 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。
メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック/ULVAC】
UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。 優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。 【ラインナップ】 ○UTM300B(ISOフランジ型) ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック/ULVAC】
デジタル5 軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。 UTM-FH、UTM-FW はデジタル5 軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。 FH シリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト~ミドルプロセス用に、FW シリーズは、広域・大流量型で、高負荷プロセスやミドル~ハードプロセス用にご利用ください。 【特徴】 ○監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、 デジタル化による集中管理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワーサプライで、 機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載 →排気速度を25%〜100%の範囲で可変 ○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに 向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能 (FWシリーズ) ○破壊エネルギー吸収構造採用により、 不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
分析装置・計測システムへの搭載に対応!装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ ※カタログ進呈
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。