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EOG完全処理・低環境負荷・簡単操作・安全設計！
『EOSYS-MINI（イオシスミニ）』は、EOG滅菌装置から排出される エチレンオキシドガスを簡単な操作で安全に排出基準濃度以下に処理する ガス滅菌排ガス処理装置です。 装置から排気されたEOGを含むガスは、排気配管により除外装置に導入。 EOGは貴金属触媒により空気中の酸素と反応し、水と二酸化炭素に完全分解され、 危険な副生成物の排出がないので、処理後のガスはそのまま大気放出が可能です。 【特長】 ■面倒な設定は不要 ■ボタン一つで自動運転 ■短時間で完全処理 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ますます高度化、複雑化するニーズに対応！様々な排ガス処理装置をご紹介
当カタログでは、様々な用途に対応する排ガス処理装置をご紹介しております。 アルカリ剤をもちいて吸収除去する「排煙脱硫装置」や長期的に安定した 性能をもつ「排煙脱硝装置」などを掲載。 当社は、永年にわたるガス処理技術と実績のもと、ますます高度化、 複雑化するニーズに対応した設計・施工・メンテナンスにいたるシステムを 提供しております。 【掲載製品】 ■排煙脱硫装置 ■排煙脱硝装置 ■焼却排ガス処理装置 ■一般排ガス処理装置 ■消化ガス処理システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パイオクリン排ガス処理装置
【特長】 ・シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの 組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除害することが出来ます。 ・ガス検知器などのオプションを取付けることにより、安全性を高めることが出来ます。 ・2筒式の場合は、カートリッジ交換時の装置ダウンタイムが低減出来ます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
燃焼式排ガス処理装置です
本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉、酸性ガス等）は同パッケージ内の ウェットスクラバーにて後処理します。 【特長】 ・燃焼ノズルと二次燃焼室を分離することにより、流量変動時に安定燃焼が可能です。 ・最大処理流量500ℓ/min（4ポートまで対応可）の排ガスに対応可能です。 ・壁Airにより、燃焼室内の副生成物付着を防止します。 ・燃焼筒直後の水噴霧による直接冷却方式の採用により、省スペース化を実現しました。 ・ウェットスクラバータンク内循環水の常時攪拌により、SiO2粉スラリーによる 循環ポンプトラブルを防止します。 ・各種センサーを装備することにより、安全対策は万全です。 ・タッチパネルにより、操作および運転状態の確認が容易です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
エッチングプロセス用の湿式除害装置です。
本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。 ・水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。 ・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。 ・気液接触部での詰まりが少ない構造です。 ・吸着筒の自動交互運転により連続除害が可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
2次公害もなく環境浄化！ガスバーナーに比べて、省燃費で小スペース型となっております
『クリーンメダスKY型』は、悪臭物質、有機溶剤、セラミックス、 半導体ガスの処理に好適な電気式小型排ガス処理装置です。 悪臭処理を行う場合、直接燃焼法（処理温度800℃前後）では、高い 温度で処理しますが、クリーンメダスの場合は、白金触媒の効用により、 低温150～300℃で処理するため、非常に高い安全性と経済性が得られます。 また、ガスバーナーに比べて、省燃費で小スペース型となっております。 【特長】 ■直接燃焼法にくらべ非常に安全で経済的 ■ガスバーナーに比べて、省燃費で小スペース型 ■優れた脱臭力を証明 ■低温処理のため、NOxの生成がきわめて少量 ■非常にコンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排ガス処理装置
弊社の業務内容としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造・制作を行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウンロード】から ダウンロードしてください。
軽量・小スペース・コンパクト！
『丸型タイプ/TRS-F型』は、FRPの一体成型でコンパクトなパッケー ジタイプの排ガス処理装置です。 洗浄塔本体、送風機は耐食性に優れたFRP製。 大巾な性能アップにより、洗浄塔本体はFRPの一体形で、ポンプ・送風機 もセットし、コンパクトにまとめました。 また、メンテナンスを考慮し、充填物取出口及びミストキャッチャ取出口 をそれぞれ設けました。 【特長】 ■コンパクトなパッケージタイプ ■FRP製で高耐食 ■軽量・小スペース ■メンテナンス性の向上 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
揮発性有機系ガスを「触媒燃焼方式」により効率よく無害化。
DEOCATは押出機ダイス部などから発生するVOC(揮発性有機系ガス)を酸化触媒を使用し低温燃焼（約350℃）させて脱臭、無害化処理します。 炭化水素反応式 CmHn ＋ O2 = CO2 + H2O + 反応熱
ガスを選ばず濃度や流量の変動に強い排ガス処理装置！
『直接燃焼式小型排ガス処理装置』は、触媒を被毒させる物質や、ハロゲン 系の腐食性の高いガスも処理できる排ガス処理装置です。 装置は単純な構造のためトラブルが少なく、かつ確実に有害ガスを 高い分解率で処理が可能。 特に排ガス濃度が高い場合や、バッチ炉などの濃度が大きく変化する 条件に対応できます。 【特長】 ■濃度や流量の変動に強い ■構造が簡単でトラブルが少ない ■広範囲のガスに対応 ■加熱源に電気ヒーターをしているため安全性が高い ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排ガスの性状に合わせてマルチサイクロン，ベンチュリスクラバ，バグフィルタなどから最適な装置の組み合わせを選定します。
焼却炉・電気炉・溶解炉・加熱炉などから発生する排ガスを処理します。詳しくはお問い合わせください。 詳しい情報をお求めの方は、下記お問い合わせ欄よりお気軽にご連絡ください。
悪臭99%以上分解！アンモニアガスの高濃度・高効率処理ができます。
アンモニア排ガス処理装置「ReNOX」は、アンモニアガスの高濃度・高効率処理ができます。 高濃度処理により発生する高い分解熱を回収することで、運転中は殆ど加熱ヒータを必要としません。 臭気分解性能にも優れ、悪臭を99%以上分解。 ヘキサメチレンテトラミンなどアミン類の分解も可能。 MOCVD対応（水素を含む、その他排ガスとの同時処理に対応）。 また、当社触媒には発がん性物質などの有害物質が含まれていない為、安心してご利用いただけます。 【特徴】 ○アンモニアを無公害窒素(N₂)に変換 ○省エネルギー、高性能で高効率 ○2次廃棄物のない完全処理 ○急激の濃度･温度変化に強く､短時間での立上が可能 ○悪臭も同時処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低NOx燃焼・高効率で完全分解！アンモニアを含むガスの排ガス処理装置
『サンレーアンモニア燃焼除害装置』は、半導体製造装置や研究施設等から排出されるアンモニアを含む排ガスを燃焼除害する装置です。 永年培った燃焼技術をベースに、低NOx燃焼を実現し、アンモニアを分解します。 窒素含有溶剤の処理にも適応できます。 【特長】 ○低NOx燃焼・高効率で完全分解 ○小容量～大容量処理可能 ○コスト低減 ○安全重視・取扱容易 ○省エネルギー・省スペース 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ダイオキシン類発生を抑制！有害ガスを洗浄除去する有機塩素系排ガス処理装置
『サンレー塩化メチル燃焼除害装置（VOC排ガス処理装置）』は、塩化メチルを高温焼却処理後、急冷・洗浄の上、無害化処理する装置です。 必要に応じてダイオキシン類の発生を抑制するための焼却炉設計や中和槽の併設など、化学物質排出把握管理促進法 (PRTR法)やVOC排出規制などの法令遵守に最適な環境装置です。 【特長】 ○ダイオキシン類発生を抑制 ○完全無害化処理 ○安全重視 ○省人・省スペース 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
燃費と脱臭効果を向上させた触媒燃焼タイプの排ガス処理装置
『ZRシリーズ』は、印刷・塗装・化学・樹脂加工・食品工業などの 現場で発生する悪臭や有害物質を触媒酸化により除去する触媒燃焼式 排ガス処理装置です。 高性能の白金系触媒を使用し、250℃～350℃の低温で有機性の悪臭成分や 有害物質を水蒸気と二酸化炭素に分解・脱臭します。 排水や触媒酸化にともなうNOx（窒素酸化物）などの発生がなく、 大気を汚染することもありません。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
