円筒内面欠陥検査装置
穴検査〔巣穴・キズ・目視検査を自動化!〕 自動車部品メーカー&精密測定機メーカーの日本電産トーソクが提案します
鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズを非接触で自動検査し、巣穴の大きさを定量検査可能
- 企業:日本電産トーソク株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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穴検査〔巣穴・キズ・目視検査を自動化!〕 自動車部品メーカー&精密測定機メーカーの日本電産トーソクが提案します
鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズを非接触で自動検査し、巣穴の大きさを定量検査可能
高精度なXYZオートステージです。
ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。 顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
非接触で鋳造加工品の研削加工面巣穴・キズなどを検査できます。
鋳物加工品の研削加工面巣穴・キズを検査する装置で、 円筒内面全域を非接触で自動検査をし、 欠陥発生位置の記録をすることができます。 ワーク本体を傷つけることなく、生産性や品質の向上に役立ちます。
独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術!シリコンウェーハ専用装置
『RXWシリーズ』は、独自のレーザー応用技術とセンサー・画像処理技術を 駆使した、シリコンウェーハ専用のエッジ欠陥検査装置です。 ウェーハ製造およびデバイス製造の各プロセスにおいて要求される エッジ近傍領域の多様な欠陥検査・寸法測定・自動選別の要求に応えます。 デバイス製造プロセス対応の「RXW-1200D」や、「RXW-1200F」などを ラインアップしています。 【搭載機能】 <RXW-1200D> ■ライセンサによる全周画像取得とADC機能 ■高感度検査を可能にする暗視野切換え機能 ■EBR後のボーダー測定機能 ■CIS/TSVプロセスでのエッジトリミング・貼合せ・シニング後の検査・測定 ■高倍率AFカラーカメラによるADR機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高出力レーザーで微小欠陥を検出!
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査(約91秒/6inch) ・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出 ・欠陥の凹凸を弁別 ・SEM等での分析用にケガキ可能 ・レーザー式で検出した欠陥をリアルタイム観察可能な画像式との複合機も提案可能 ・SiCウェハ表面の欠陥検出に対応した波長355nmのレーザーも搭載可能(開発中)
「品質至上」の姿勢を貫き、確固たる自信と責任をもって、製品を送り出しています
企画提案、受注・受託生産及びOEM製品の開発・生産も全て英知、情熱、独創性が基本です。私たち日昭電器株式会社の仕事は各種機器の設計・製造・販売、ソフトウェア開発、システム設計など極めて多岐にわたります。 国際規格ISO9001:2015、ISO14001:2015の認証を取得し、世界的に認められたマネジメントシステムを確立しています。 IMS(統合マネジメントシステム)として効果的な運用を行い、受注から納入まで、方針書(設計方針書・製作方針書・対策方針書等)によるステップ毎のチェック管理など、品質の向上と安定化、環境に配慮した製品の設計および製造については、全社的テーマとして展開しています。 市場の流れを予測する先見性をもってハードあるいはソフトを企画提案し、併せて、高度な技術力を生かして製品化へのさまざまなご要望にお応えする。その不変の精神は、スタッフ陣のエネルギーとオリジナリティ豊かな発想によって支えられています。
L1800カラー汎用機-八面機やE3000カラー専用タイプなど!豊富なラインアップでご紹介
当社で取り扱う、「外観欠陥検査機」をご紹介いたします。 固定形状の検査対象物に特化した専用ソフトウェアが書かれており、 材料変更の設定も簡単かつ迅速に行える「E3000カラー専用タイプ」や クイックチェンジガラスの設計により、平坦度補正なしで3分で変換可能な 「E8000カラー小型専用タイプ」などをラインアップ。 ご要望の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■E3000カラー専用タイプ ■L1800カラー汎用機-八面機 ■E8000カラー小型専用タイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
レビュー用顕微鏡搭載!検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です
高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査(約181秒/12inch) ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能
透明素材にも対応する高精度検査装置
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら高精度なケガキが可能 ・他装置で検査したウェハに対し、欠陥座標を元に 観察、欠陥アルバムの作成が可能。 ・結晶欠陥の検出機能を開発中