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化学機械設備の設計・製作なら当社にお任せください
株式会社東海化工機は、化学工学を応用した機械設備の基礎計算・ 構造計画の業務から出発し、現在は、各種化学機械設備の設計、製作、 販売を致しております。 設備関係では「化工機設備」「環境対策設備」「洗浄設備及び附帯設備」 「アルミ鋳造設備の附帯設備」「アルミ軽合金熱処理設備」。 加工関係では「各種ステンレス等製缶加工」「アルミ軽合金のT5熱処理」 「アルミ軽合金のT6熱処理」を主な業務として活動させて頂いております。 【納入実績】 ■T5熱処理装置 ■T6熱処理装置 ■T5バッチ熱処理装置 ■自動真空吸引装置 ■自動脱脂洗浄装置 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
生産能率がアップ！トレーリターン式時効処理炉
『アルミＴ5熱処理装置』は、アルミダイキャスト部品をT5熱処理(時効化処理)し、 時間・温度の設定により目的とする硬度に仕上げるものです。 製品をパレティーナに収納したまま処理ができ、生産効率がアップします。 また、ガスバーナーは、加熱・冷却同時制御で正確な温度制御が可能です。 現在検討計画中の物件、興味のある物件がございましたらご連絡下さい。 ご説明にお伺いします。 【特長】 ■トレーリターン方式 ■製品をパレティーナに収納したまま処理ができる ■生産能率がアップ ■ガスバーナーは正確な温度制御が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ポテンシャル窒化をコントロールする制御技術！金属処理レシピや炉体システムなど総合的なソリューションがご提供可能な熱処理装置！
ナイトレックス・メタルの熱処理装置「総合カタログ」は、ターンキーシステムやバッチ炉、プロセスコントロールシステム、プロセスコントロールソフトウェアなどご紹介しています。 ポテンシャル窒化をコントロールできる制御技術を保有しております。 【掲載内容】 ■ターンキーシステムとは ■規格品およびオーダーメイドの炉体 ■プロセスはパラメーター設定後、全自動によるオペレーション ■窒化・軟窒化のポテンシャル制御技術NITREG（R）／NITREG(R)-C／ONC（R）／NITREG(R)-S／NANO-S TM ■窒化及び軟窒化の典型的なアプリケーション ■熱処理専業メーカー向けP-シリーズシステム ■ナイトレックスのシステムの特徴 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
インプロセス型の制御式ポスト窒化/ポスト軟窒化酸化処理！
「ONC（R）プロセステクノロジー」のONC（R）とは、様々なスチールグレードの耐腐食性と耐磨耗性を同時に向上させるために適用、実証済の窒化ポテンシャル制御式NITREG（R）ガス窒化処理並びに軟窒化ポテンシャル制御式 NITREG（R）-C軟窒化処理に酸化処理を組合せた最新の技術です。 【特長】 ■ONC（R）で全てのスチール種を処理することは可能 ■腐食抑制剤を含む液体ベースのCorr-Check（R）が表面へ浸透、乾燥し、艶出し仕上げをする事で、耐腐食性を更に向上 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください
機械の試作・開発のパートナー！お客様のイメージを具現化します
当社は加熱応用装置の専門メーカーとして、急速に発展する工業界に 対応すべく当社技術群も品質のレベル確立に全力をあげ、 自動化・省力化・省エネ化・対環境化に飽くなき追及を続けています。 設計⇒板金加工⇒組立加工⇒電気配線の全てを社内一貫生産で対応。 高性能、低価格、且つ短納期にて製品を製作出来ますので、 ご要望の際はお気軽にご相談ください。 【主な製品】 ■熱処理装置 ■省力化装置 ■環境対策装置 ■その他取扱い製品 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！
『SPR-014-B』 は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式 バイアススパッタリング装置です。 ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた 良好な絶縁膜形成ができます。 【特長】 ■低いピンホール密度 ■良好なステップカバレージ性 ■次の電極層に有利な平坦性 ・排気系はドライポンプと磁気浮上型TMPの排気システム ・基板側とターゲット(カソード)に高周波電力を同時に印可 ・ロードロック式の1元スパッタリング装置（容易に基板セット可能） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空～大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。
有機EL等新しいパネル技術関連における真空・熱関連装置の設計、製造、販売を行っています。 大気・真空を繰り返す際に発生するパーティクルを対策した幸和独自の技術の真空ホットプレートの提案をいたします。 “目に見えない熱や圧力をコントロール”するために、技術と知識を駆使してお客様のニーズに合わせた装置、設備をトータルでコーディネートいたします。
温度プロセスを7段階変更可能！ニーズに合わせた温度管理が出来ます！
本製品は、全工程を自動運転可能にした小型真空熱処理装置(真空炉)です。 温度プロセスを7段階変更可能なため、200℃/30分、400℃/15分など ニーズに合わせた温度管理が出来ます。また、真空ポンプを シャットダウンせずに真空容器の大気解放が可能なため処理品交換後 すぐに、次処理が可能です。 【特長】 ■自前の真空機器を使いコストダウンが可能 ■温度プロセスを7段階変更可能なため、200℃/30分、400℃/15分など ニーズに合わせた温度管理が可能 ■全工程を自動運転可能。手動切替え機能付き ■真空ポンプをシャットダウンせずに真空容器の大気解放が可能なため 処理品交換後すぐ、次処理が可能 ■炉内冷却も任意の温度で窒素もしくはAirを導入し、プロセス時間短縮が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
処理温度を幅広く選択！目的に合わせた機械的性質を得ることが可能
「プラズマ窒化」は、耐摩耗性、耐かじり性が良くなり疲労強度の 向上に効果的な処理です。 真空中での処理のため処理後の表面は無酸化状態で得られ、表面荒さの 低下が少なく、歪量の僅小と合わせ、後加工を省略もしくは簡略化することが 可能。ステンレス・チタン等の特殊金属の窒化ができます。 また、部分窒化(窒化防止)が簡単にでき、鋼種によっては耐食性の 向上がはかれます。 【特長】 ■耐摩耗性、耐かじり性が良くなり疲労強度の向上に効果的な処理 ■ステンレス・チタン等の特殊金属の窒化ができる ■部分窒化(窒化防止)が簡単にでき、また鋼種によっては耐食性の 向上がはかれる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
表面層の粒界酸化や浸炭ムラが無いので、細孔内面も可能！品質向上が望めます
『真空浸炭焼入』とは、真空炉内にて行う浸炭焼入方法です。 炉内に供給したアセチレンガスが熱分解し、発生した炭素が表面より 浸透・拡散。浸炭の効果に加え、表面層の粒界酸化や浸炭ムラが無いので、 細孔内面も可能です。 また、光輝色で仕上がる為、通常の浸炭焼入に比べ、品質向上が望めます。 【特長】 ■真空炉内にて行う浸炭焼入方法 ■浸炭の効果に加え、表面層の粒界酸化や浸炭ムラが無いため細孔内面も可能 ■光輝色で仕上がる ■通常の浸炭焼入に比べ、品質向上が望める ■JIS加工記号：HQV ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄物のプレートや刃物にも適用できる歪の少ない処理方法として、ソルトマルクエンチ法、サブゼロ処理を採用しております！
【ソルトマルクエンチ法】 私たちのピット式浸炭雰囲気炉やケース式浸炭雰囲気炉はバッチ式のため、少量多品種の焼入れに対応できます。 無酸化処理、浸炭焼入れだけでなく、焼鈍、調質など幅広く処理いたします。鋼種や浸炭深さ、母材硬度など、仕様の違いから短納期でできないとお困りのお客さま、是非ご相談ください。 【サブゼロ処理】 深冷処理とも言われ、0度以下に冷却し残留オーステナイトをマルテンサイト に変態させる処理です。サブゼロ処理のメリットは、(１)硬さの上昇、(2)置き狂いの防止、(3)耐摩耗性の向上などがあります。金型や冶工具の高付加価値化に最適な処理といえます。 ※詳しくは資料をDL、もしくはお問合せください。
高速熱処理装置（RTP/RTA装置） AccuThermo シリーズ
LED，VCSEL等の化合物半導体や、太陽電池 セルの高速熱処理に最適な、デスクトップ型の最新型高速熱処理装置 【特徴】 ○強力な可視光線により、2インチ〜8インチまでのシングルウェハを 短時間かつ正確にコントロールされた温度で加熱処理 ○優れた加熱均一性 ○高度な温度制御 ○広域レンジパイロメータ（ERP）による高精度温度計測（オプション） ○パイロメータまたは熱電対温度センサーによる クローズドループ温度コントロール ○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃ ○高速加熱100℃/sec，高速冷却100℃/sec ○高いウェハ間プロセス再現性 ○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル ○省スペースかつ、高いエネルギー効率 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
削り加工を考慮した厚みが不要！加熱スケジュール設定後は最後まで全自動運転！
『MPシリーズ』は、乾燥時の「ひねり」を解消し、厚みを残したまま 商品化できる高周波平板化熱処理装置です。 削り代を考慮しなくて良いため、厚みが薄い状態で乾燥可能。 加熱スケジュール設定後は最後まで全自動で運転します。 また、含水率が均一になるので、処理後の戻りは最小限に抑えられます。 【特長】 ■乾燥時の「ひねり」を解消 ■厚みを残したまま商品化できる ■歩留まり改善 ■乾燥コスト削減 ■全自動運転 ■戻りは最小限 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェハプロセス対応 本格量産システム アニール・シンター・ポリイミドキュア ミニバッチ＋急速冷却機構でハイスループット対応
クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応。ＣｔｏＣシステム採用による自動化＆クリーンシステム。 中温から高温まで安定した温度分布性能と急令機構による短タクト処理 真空だけでなく各種雰囲気（不活性、酸化、還元）雰囲気処理も可能な多機能型熱処理装置
チタン合金やニッケル合金など様々な金属材料に適応！CO2を排出しないクリーンな熱処理装置
『SDCプラズマ真空熱処理装置』は、プラズマ浸炭、プラズマ窒化、 ガラス状カーボン(GLC)被覆及び真空熱処理など、さまざまな金属材料の 表面硬化や熱処理に適用できる装置です。 外部熱源に加え、マイクロパルス電源を使用し、プラズマ電源の出力電圧、 電流、パルス幅、電圧継続時間などをコンピュータプログラムで制御する ことで、ワークピースの温度を指定温度に精密に制御しながら表面硬化や コーティング処理を行うことができます。 均一な微細構造と高い表面硬度を有し、水素吸収を防ぐプラズマ浸炭チタン 合金部品の製造プロセスを確立。更に、同じプロセスで浸炭チタン表面に ガラス状炭素膜(GLC膜)を形成させることも可能にしました。 【仕様(一部)】 ■有効処理ゾーン：600×600×1000mm ■グロス重量：600kg ■処理温度：～1200℃ ■雰囲気ガス：真空/メタン/プロパン/(アセチレン)/窒素など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
磁場中熱処理装置
【概要】 本装置は超伝導マグネットと組合せ強磁場中(20T)に於いて真空、高温で金属材料の熱処理試験を行う目的にて開発された装置であります。 電気炉は強磁場の影響を受けない構造が特長になっております。 【製品仕様】 １．最高加熱温度 max 1100℃ 10φ×30L ２．電気炉外筒(ＳＵＳ３０４) １）ＯＤ95φ×312L 外筒内水冷、真空断熱層 ２）上部超ストロークベローズ、真空室(電極、引口付) ３）下部試料交換用ＩＣＦフランジ付 ３．ヒーター(Ｔａ) 無誘導巻き21φ×94L ４．反射板(Ｔａ、Ｍｏ) 24φ×31φ×98φ ５．架台(ＳＵＳ３０４) 1330W×1460D×1820H
5Ton迄の拡散接合などの多目的の実験炉として使用することができるプレス付真空熱処理装置
『PRESS-VAC-2S型』は、さまざまな熱処理が可能な真空装置です。 真空の状態でプレスを行うことで、通常の状態でプレス加工するのとは 違った処理をすることが可能です。 また、熱処理に関しましてはプログラム制御を行いますので、細かい 温度管理が可能。今までのものとは異なる新しい製品の開発などに 利用することができます。 【特長】 ■プレスユニットの圧縮能力については任意の設定することができる ■0.3Kg3/cm2の圧力雰囲気処理も可能 ■高真空で使用できるだけではなく、複数の不活性ガスでも使用できる ■狭いスペースにも置けるようなコンパクトな装置 ■金属ヒーターと反射板を使用した構造を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空アニール装置
液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等の不良を解消するための装置です。 注入前に加熱して真空引きすることにより、セル内部の水分や有機ガスを除去できるので、パネルの品質も向上させることが出来ます。内部ヒーターやファンの改良により、クリーン度の高い槽内環境を実現しました。 当社独自の技術により、真空加熱中の温度分布がよく、プロセス時間も短縮されます。
表面硬化により金型・工具・機械部品の寿命を向上
日本電子工業(株)製イオン窒化炉、ラジカル窒化装置、自社製窒化装置(PRIZE)を増設し、用途に応じた窒化処理に対応いたします。 ラジカル窒化およびプラズマ深窒化PRIZE120は、窒化処理後のコーティング処理(複合処理)も可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
１０００℃まで対応！各種雰囲気下での加熱処理が可能な真空パージ炉
各種雰囲気下での加熱処理を用意に行えるコンパクトサイズの真空パージ炉です。真空パージにより炉内雰囲気の置換時間を短縮できます。 【特長】 ◆各種雰囲気下での加熱処理が可能 ◆還元雰囲気（水素ガス）炉としても対応可能 ◆ヒーターのメンテナンスが用意 ◆インコネルマッフルを装備 ◆常用使用温度範囲は４００℃〜１０００℃
窒化処理 Jナイト（ラジカル窒化）
＜概要＞ 「Jナイト」とは、従来の窒化法の問題点を改善するために、プラズマ窒化反応理論を基礎として開発された、新しいプラズマを活用した窒化h処理です。この窒化法は高速度工具鋼や合金工具鋼の処理に適しています。その特徴を以下に示します。 ★Jナイトの6つのポイント★ 1.表面状態をほとんど変化させません。 2.化合物層を形成せず、拡散層のみを形成できます。 3.寸法変化を非常に小さく抑えることができます。 4.これらの特徴により処理後の後加工が不要となります。 5.500℃以下での窒化処理です。 6.処理表面に直接PVD法などで硬質膜を形成できます。 これらの特徴によって、金型や機械部品などの耐摩耗性が向上し、寿命を延ばし、生産性を向上させることができます。 ★Jナイト処理のメリット★ ・硬度低下、歪みがない ・処理後の磨きが不要 ・剥離がない ・複合処理が可能 ・窒化深さが均一 ※その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、もしくはお問い合わせください。 ★サンプルコートのご相談も承っております★
最大156mm×156mm基板対応！真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能
『AS-Premium』は、大気・真空下プロセスに対応しているRTP装置です。 アニール処理後急速冷却機構(上部ランプ加熱式のみ)で、 低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーターとなっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大156mm×156mm基板対応 ■低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター ■アニール処理後急速冷却機構(上部ランプ加熱式のみ) ■大気・真空下プロセス対応 ■ターボポンプ搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ターボポンプ搭載可能！低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター
『AS-Master 200』は、アニール処理後急速冷却機構のRTP装置です。 最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式)しており、 真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能。 また、大気・真空下プロセスに対応しており、ターボポンプ搭載可能。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm径基板対応(基板上部ランプ加熱式) ■低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター ■アニール処理後急速冷却機構 ■大気・真空下プロセス対応 ■ターボポンプ搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体などの工程加工に適した各種成膜、酸化膜形成、アニール処理に適した装置ラインナップ！
SiCのアニール前処理として最適なカーボン成膜をPBIIで、アニール処理をRTAで、アニール前後処理を弊社で行うことができます。
表面処理に関する技術資料を5冊まとめてプレゼント！
日本電子工業は1973年に独自のプラズマ熱処理装置「イオン窒化」を国内で最初に開発･実用化いたしました。 またセラミックコーティング､プラズマ熱処理そして高周波誘導加熱を基にし、熱処理のプロフェッショナル集団として産業界のニーズにお応えしています。 プラズマ熱処理装置「イオン窒化装置」をはじめ、独自技術を応用した熱処理設備の販売では､アジアをはじめ海外においても高い評価を得ています。 ＝＝【プレゼント内容】＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 小冊子「表面処理活用の基礎知識（PVD・プラズマCVD）」 小冊子「表面処理（拡散処理）の基礎知識[プラズマ窒化処理]」 小冊子「イオン窒化法の基礎知識（原理と利用技術）」 小冊子「PVDとその複合表面改質法による金型寿命の向上」 小冊子「プラスマエネルギーを利用した複合表面改質処理」 ※ご希望の方は、【カタログダウンロード】よりご覧ください。 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝
熱帯産果菜類の安全な輸出入を確実にサポート！薬品を使わずに消毒処理をします
コンテナ方式でコンパクトな差圧式蒸熱処理装置 Vapor Heat Treatment Systemは、薬品を使わず、高温高湿の飽和蒸気で果実内の害虫の卵・幼虫をクリーンに消毒処理することができます。 さまざまな果菜類のより安全な輸出入、国内への持ち込みを可能にします。 病害虫の蔓延を防ぐため、各国で行われている厳重な植物検疫。 パパイヤ､マンゴー､茘枝､パプリカなどの果菜類をミカンコミバエ種群、ウリミバエなどの未発生地域に持ち込む際は、国際基準をクリアすることが義務づけられています。 FTHの差圧式蒸熱処理技術が、熱帯産果菜類の安全な輸出入を確実にサポート。 “ 安心と信頼”をお届けします。 【特徴】 ○人体や環境にやさしいシステム ○優れた温・湿度の分布性能で効率向上 ○果菜類の品質を保ちながら確実に消毒 ○イニシャルコストを低減 ○だれにでもできる簡単操作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
農薬を使用せず殺菌･殺虫･消毒！飽和蒸気と熱で農産物をまもります。
農産物病害虫防除装置は、農薬を使用せず殺菌･殺虫･消毒ができ、飽和蒸気と熱で農産物をまもります。 イチゴ等施設栽培では病害虫の発生は、汚染された苗の持込が最大の原因です。 うどんこ病・ハダニのイチゴ被害は全国的に大きな問題となっており、被害額も増大しております。対策として徹底した初期防除が重要となります。 また、食の安全･安心志向の高まる中、病害虫防除における化学合成農薬の使用量の削減は避けて通れない課題となっています。 そこで開発されたのが、飽和蒸気と熱による病害虫防除を可能にする農産物用蒸熱処理装置です。 この装置は定植前の苗類はもちろん収穫後の果実にも使⽤でき、海外ではマンゴーなどのミバエ殺⾍や炭疽病の発⽣を抑制する装置として利⽤されています。 【特徴】 ○農薬を使用せず殺菌･殺虫･消毒 ○飽和蒸気と熱による病害虫防除装置 ○人体や環境にやさしいシステム ○だれにでもできる簡単操作 ○イニシャルコストを低減 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
クロムモリブデン鋼やステンレス鋼などの窒化に適した鋼と特長をご紹介
窒化に適した鋼は「窒化鋼」の他に、「クロムモリブデン鋼」をはじめ、 「ステンレス鋼」や「ダイス鋼」などがあります。 それぞれの鋼に適した窒化処理条件があり、条件の差異により用途も異なります。 【特長】 ◎クロムモリブデン鋼(SCM)、ニッケルクロムモリブデン鋼(SNCM) ■窒化処理条件は窒化鋼とほぼ同じ ■窒化層の硬さ分布は、窒化鋼よりゆるく母材の硬さに達する ■熱処理変形が非常に少ない ■高い硬さを必要としないため、歯車に用いられることが多い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。
高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm の加熱棚が左右計10段、170×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。 【特徴】 ○独立して稼動可能な処理室を2室有している ○生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れる ○効率的なサイクルタイム/全自動による省力化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
