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ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置
『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及びマッピング処理する事が出来ます。 【特長】 ■ウェハ・ガラス基板だけでなく、その他の鏡面基板上の膜厚測定が可能 ■膜の光学定数を設定する事で、各種の膜厚測定が測定可能 ■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。
自動レジスト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布をスピーディに表示します。KV-300は、自動R-θステージ採用により、300mm基板に対応しながらもフットプリントを最小限に抑えた設計になっています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
多数の納入実績を誇る業界標準機！リニアアレー受光素子を採用
『Model3100』は、受光素子にリニアアレー素子を採用し、 高速測定を実現した光干渉式膜厚測定装置です。 スペクトル解析ソフトを標準搭載することにより、多層膜(通常3層まで)の 同時測定および光学定数(n k)の測定が可能。 各種膜特性に適合したきめ細かなパラメータの設定ができ、より豊富な 各種膜構造の膜厚測定ができます。 【特長】 ■高感度高分解能ヘッド(オプション)にて酸化膜換算で70μmまで測定可能 ■100倍レンズ(φ0.75μmの微小スポット)も使用可能 ■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能 ■さまざまなアプリケーション(磁気ヘッド、FPD、材料研究等)に対応し、 用途別に試料台作成可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
不透明・半透明の多層プラスチックの各層厚みを、テラヘルツ光の反射遅延時間から測定します。
【特長】 ・単層および多層プラスチックボトルおよび容器の個々の層の厚さを測定 ・最大10層まで測定可能 ・多層構造内の極薄バリア層を探しだし、膜厚を測定 ・断面を計測する時のように切断不要 ・手間と時間を節約しつつ、これまでにないレベルの高精度と再現性を実現
センサヘッド分離型でインライン測定装置にも組込可能
【特長】 ・高精度多層膜厚計測 ・膜中のボイド検出 ・高精度坪量測定 ・非破壊測定 ・不透明および半透明材料の測定 ・非接触＆高速測定 ・非電離放射線
赤外線式 非接触 厚み計 「簡易操作とメンテナンスフリー！」
＜ＸＹマッピング測定可能＞ ワークをXY移動しながらマッピング計測可能 ＜すぐに使える操作性＞ 基準片から検量線を自動作成します すぐに計測開始可能です ＜メンテナンスフリー＞ 光源・線源等、短期交換部品はありません
R&D分野において利用出来る特長を兼ね備えた光干渉式膜厚測定装置！
『TohoSpec3100』は、ナノメトリクス社より技術移管された 光干渉式膜厚測定装置です。 多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、 リニアアレー受光素子を採用。 高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定や 光学定数(n k)測定に利用可能です。 【特長】 ■スペクトル解析ソフトにより、多層膜（通常３層まで）の同時測定 光学定数（n k）の測定が可能 ■各種膜特性に適合したパラメータの設定ができ、 より豊富な各種膜構造の膜厚測定が可能 ■プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能 ■米国マイクロソフト社のWindows(R)7対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
裏面や内層材の影響を受けずに銅の膜厚を測定
【SR-SCOPE DMP30】は、プリント回路基板上の銅の厚さを迅速かつ高精度に非破壊で、基板裏面にある銅層の影響を受けずに測定することができる電気抵抗式の膜厚測定器。堅牢で近代的な新しいデザイン、デジタルプローブと新しいアプリケーションソフトウェアにより、プリント基板表面の銅の膜厚測定に好適。保護等級IP64のアルミ製の筐体、落下などから筐体を保護するソフトバンパー、強化ガラスの液晶ディスプレイを搭載した頑丈な筐体を採用。また、光・音・振動による上下限値設定時のフィードバック通知機能、交換可能なリチウムイオンバッテリー、USBまたはBluetoothによるPC通信を可能としてデータ転送や測定値評価など、数多くの機能を搭載。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。
![[フィッシャー・インストルメンツ]SR-SCOPE.jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/922/1766356/IPROS42036437814517654800.jpeg?w=280&h=280){kind=small}
